国产半导体检测再迎突破！谱育科技于 SEMICON China 2026 推出 EXPEC 7350S Plus 系列新品
2026年3月25日，SEMICON China 2026 在上海新国际博览中心拉开帷幕。本届展会以“跨界全球·心芯相连”为主题，由国际半导体产业协会（SEMI）与中国电子商会（CECC）联合主办，吸引了全球半导体制造领域的主流设备和材料厂商参展。作为产业交流与合作的重要平台，SEMICON China 每年都成为全球半导体产业链关注的焦点。
在展会现场，杭州谱育科技发展有限公司（谱育科技）作为聚光科技旗下的自主孵化子公司，展示了多项核心检测设备，并举行了“芯之眼，中国芯”新品发布会，正式推出EXPEC 7350S Plus系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS/MS）。该产品在半导体超痕量检测领域实现了国产化新突破。
据悉，谱育科技7000系列ICP-MS市场保有量已超过千台，年销量在国内市场中位列全球品牌第四、国产品牌第一（基于公开中标数据统计）。该系列广泛应用于多个技术场景，用户基础稳固，其稳定可靠的性能赢得了行业认可。EXPEC 7350S系列曾获得仪器信息网2025年“国产好仪器”称号及2024年“用户关注优选奖”。
3月25日上午，谱育科技展台人气高涨，吸引了众多行业专家、合作伙伴及媒体前来参观。新品发布会在各方代表的共同见证下顺利举行。
谱育科技半导体事业部总监汤宏厚在致辞中指出，随着我国半导体产业的快速发展，高精度检测能力已不仅仅是技术需求，更是支撑产业自主可控的战略保障。他表示，谱育科技此次发布的EXPEC 7350S Plus系列ICP-MS/MS，是专为芯片制造需求打造的国产化检测利器。
中国科学院上海硅酸盐研究所研究员汪正、上海集成电路材料研究院有限公司检测分析事业部主任李春华、中国地质大学（武汉）分析测试中心副主任郭伟等专家共同出席发布会。汪正作为专家代表发表讲话，指出在半导体制造进入埃米级工艺的关键阶段，ICP-MS技术正成为确保材料纯度的核心手段。他表示，EXPEC 7350S Plus系列的推出，标志着国产半导体检测技术迈上新台阶。
在技术报告环节，谱育科技吴智威博士作了题为《高性能 EXPEC 7350S Plus系列 ICP-MS/MS 全新亮相，助力半导体超痕量金属杂质检测》的主题演讲。
吴博士介绍，为应对日益增长的国产替代需求，谱育科技推出了升级版串联质谱EXPEC 7350S Plus系列。该产品在灵敏度、抗干扰能力及自动化联用等方面均有显著提升。针对典型半导体样品如湿化学品、晶圆金属杂质、硅烷及电子特气，该仪器的检出能力稳定在ppq-sub ppt水平，能够满足从主流制程到先进制程的全流程检测需求，为工艺控制与材料认证提供更严格的数据支撑。
除了新品发布，谱育科技还展示了三大综合检测解决方案，分别为：超痕量金属离子检测解决方案、AMC微污染气体监测解决方案、半导体特气探测解决方案，覆盖从原材料分析到生产环境监控的多个环节，助力企业实现高效、可控的生产管理。
现场工作人员详细介绍了这三大解决方案：
- 超痕量金属离子检测解决方案的主力设备EXPEC 7350S Plus系列实现了从硬件到软件的100%国产化。其四大核心优势包括：自主可控、分析能力强、自动化高效、定制响应敏捷。该设备搭载多次偏转离子传输系统和双提取透镜，具备ppq级检出限，能够满足12英寸晶圆的先进制程检测需求。
- AMC微污染气体监测解决方案采用多种气体分析仪与便携GC-MS，对总酸（MA）、总碱（MB）及有机分子等污染物进行自动检测，支持污染状态的可视化与高效监控。
- 半导体特气探测解决方案涵盖GDM-2100 Series特气检测仪、GTYQ-4000 Series隔爆型泵吸式探测器、GDM-3100 Series便携式检测仪（红外版）以及GDM-1000系列固定式检测报警仪等产品，用于实时监测特气泄漏，确保产线安全。
在实际应用方面，谱育科技相关检测设备已在多个半导体细分领域实现规模化部署。
EXPEC 7350系列已在国内多家大型半导体企业落地应用，覆盖高纯湿化学品、光刻胶、硅烷、晶圆体相/表面金属残留及高纯石英材料等关键材料的痕量杂质分析。某宽禁带半导体材料企业将其用于衬底抛光片、外延片及高纯试剂的金属检测，半年内的应用反馈显示，设备在检出限、稳定性及氧化物产率等关键参数上已超越国际同类产品。
在先进制程与大尺寸晶圆制造领域，EXPEC 7350系列可满足G3~G5级化学品的质控要求。某12英寸硅片制造企业通过VPD与7350S组合方案，实现了晶圆表面金属离子沾污的自动监测。
在特气泄漏探测与AMC微污染监测方面，相关产品也取得了良好的应用反馈。
GDM-2100 Series半导体气体探测器可检测40余种特气，已在某12英寸集成电路生产线建设项目中部署30多台，构建起有毒有害气体在线监测体系，显著提升了生产线的本质安全水平。
AMC 1000微污染气体监测系统具备ppb级检测能力，采样范围可达200米，检出限低至0.1ppb。该系统已在某12英寸晶圆厂投入运行，为洁净室污染监控提供实时数据支持，有效提升产品良率并降低设备损耗。
作为国内高端检测装备自主化的重要推动者，谱育科技凭借深厚的技术积累和持续的产品迭代，正逐步打破国外技术垄断，推动国产高端检测仪器在半导体等关键制造领域的应用。
未来，谱育科技表示将持续加大研发投入，加快产品与技术的升级迭代，增强在高端制造领域的市场竞争力，与产业链上下游协同合作，助力我国半导体产业实现高质量发展。
附：第十九届中国科学仪器发展年会（ACCSI 2026）将于4月22日至24日在京举行，主题为“AI赋能·智启未来”，由仪器信息网与中关村科学城管理委员会联合主办。届时，谱育科技将携核心产品亮相展会，带来更多行业关注的亮点。