盛思锐Sensirion SLQ-QT500液体流量传感器

​盛思锐Sensirion SLQ-QT500液体流量传感器概述 新型SLQ-QT500液体流量传感器可测水基液体以及碳氢化合基液体,测量流量为120ml/min。这对于半导体行业中喷涂系统的合成以及其它行业中配量和流量应用的广泛组合是非常理想的。

盛思锐Sensirion SLQ-QT500液体流量传感器概述

      新型SLQ-QT500液体流量传感器可测水基液体以及碳氢化合基液体,测量流量为120ml/min。这对于半导体行业中喷涂系统的合成以及其它行业中配量和流量应用的广泛组合是非常理想的。

      由于采用充分验证的热式微传感器科技,SLQ-QT500开辟了在灵敏度,稳定性和速度新的高度。触液材质为PFA配件及石英玻璃管。整个流路笔直且传感器中没有障碍物或移动部件。SLQ-QT500几乎适合任何粘度的液体以及在其对石英玻璃管无磨损的含小颗粒的液体。

      基于智能RS485数字接口的传感器可长距离通讯,具有较大的总线容量。出色的敏感度和测量速度让监督或控制快速配量操作成为可能。可通过自动配量检测获得流体瞬时流量以及总配量输出。在校准H2O和异丙醇时可使用该传感器。

盛思锐Sensirion SLQ-QT500液体流量传感器.png

盛思锐Sensirion SLQ-QT500液体流量传感器特性

流量高达120毫升/分钟(碳氢化合物和水基液体)

快速响应时间低至30毫秒

高低粘度液体用

具有小颗粒的液体用

RS485数字接口

直流路径,无移动部件

保证纯度

最高敏感度低至最低流量

超强耐化学性,惰性材料

触液材质:只有PFA和石英玻璃

最大工作压力10 bar

盛思锐Sensirion SLQ-QT500液体流量传感器应用

高端半导体流程控制

工业自动化

快速配量操作

盛思锐Sensirion SLQ-QT500液体流量传感器性能参数 

液体流速:高达120ml/分

接口选项

数字

I2C-Bus

RS485总线

USB电缆

模拟

输出电压 (0V - 10V)

输出电流 (4mA - 20mA)

其他工作模式

电气规格

电源电压:3.7VDC(最大值)

电源电流:6.5mA(最大值)

上电时间:25ms

响应时间:<50ms

温度范围

工作温度范围:+5°C至+50°C

储存温度范围:-10°C至+60°C

工作湿度范围:0%至95%,非冷凝

机械规格

尺寸:59mm x 35mm x 23.2mm

传感器管内径:ø4.5mm

PFA管

内径:ø4.35mm

外径:ø6.35mm(1/4英寸)

总质量:约45g

工作压力:12bar (175psi)(最大值)

额定爆破压力:30bar (435psi)

材料

连接管:PFA,1/4英寸,UL 94V-0可燃性等级

毛细管:石英,不可燃

外壳:PPS,UL 94V-0可燃性等级

螺钉和电气连接器:不锈钢,不可燃

电缆:铜(不可燃),ETFE (UL 94V-0)


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