广泛应用于电子光伏、医疗、医药化工、食品加工、包装、石油化工、半导体等行业。
●在半导体合成及液晶生产上，主要有半导体等离子增强气相沉淀和反映离子刻蚀工艺，液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆的CVD制程中。
●在石油化工生产上，主要是抽取可凝性气体，或有害气体，或腐蚀性气体，或含有微尘的气体。
●在制药行业上，主要用于药物的真空干燥，医药中间体回收，回收气体消毒剂等。
●在化工行业生产上，主要用于真空蒸馏及溶剂萃取回收。
●在食品行业生产上，主要用于香料、香精浓缩，包装，脱水干燥。