供电电压:2.7...15 VDC |
气体体积流量范围:30...5000 sccm |
测量类型:质量流量 |
测量范围:0 to 10...5000 SCCM |
精度:±1.5% FS |
输出信号:Linear, 0.5...4.5 VDC, I2C |
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