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残留气体分析仪

残留气体分析仪（RGA）是用于识别真空环境中存在的气体的光谱仪。残留气体分析仪通过产生气体样品的电离分子，根据离子的质荷比分离所得的离子混合物，提供输出信号（用于测量存在的相对种类）并计算速率来执行此功能。

Hakuto 伯东企业总共4条产品数据点击查看 >
- Hakuto 伯东企业原位计量质谱分析仪 Aston™ 残留气体分析仪
  
  上海伯东代理日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™, 通过使用分子传感技术, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断, 为半导体过程控制提供解决方案, 提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率, 在现有生产工艺工具上加装 Aston, 可在短时间内实现晶圆更高产量!

Hiden Analytical 总共8条产品数据点击查看 >

Hiden Analytical QIC-100 残留气体分析仪

显示:None / 无显示	电离法:Electron Impact Ionization	质量分析仪技术:Quadrupole
质量范围:? to 1000 (amu)	一般特征:Quantitative Analysis Capabilities	产品类别:Residual Gas Analyzers
远程接口:Computer Interface; Serial communication protocol such as RS-232, RS-485, USB.; Special requirements such as modem, RF transmitter, etc.; Application Software Included.

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NETZSCH 耐驰 Highest Resolution in Evolved Gas Analysis (EGA) - TG-GC-MS Coupling 残留气体分析仪

质量分析仪技术:Other; Evolved Gas Analysis (EGA)

产品类别:Residual Gas Analyzers

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