Hakuto 伯东企业
伯东公司成立于1953 年,全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司 主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作,集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市:北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供世界一流的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念,已累计为超过10,000家企业提供真空服务,覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。代理品牌德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Polycold 制冷机,美国HVA 真空阀门,美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机,IBE 离子蚀刻机,真空镀膜系统及配套真空零配件等。上海伯东作为国际知名真空品牌指定授权代理商,全权负责在中国地区的销售和维修服务,100% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师;拥有完全的拆解,维修,校正能力并提供24小时在线服务。
  • ph-instruments VIM-2 真空传感器(磁悬浮转子真空计) 真空规

    传感器管可烘烤温度:弹性体密封 150 °C;金属密封 450 °C
    安装方式:水平
    工作温度:电子元件 10 °C 至 40 °C;测量头 10 °C 至 50 °C
    接液材料:1.4404, 1.4034
    数字接口:USB、蓝牙、RS 232、RS 485
    模拟接口:USB Type C、蓝牙、15pin
    模拟输出:0 - 10 VDC 可配置
    法兰类型:KF 25, 8 VCR, 焊接
    测量原理:旋转转子压力表
    测量范围:7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar)
    电源要求:18 ~28 VDC
    精度:7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %;0.07 Torr 至 7 x 10-7 Torr & 0.01 mbar 至 1 x 10-6 mbar 读数的 1 %
    远程控制:Win 7/10
    长期稳定性:< 每年 1 % 的漂移
  • ph-instruments ION Check 真空规校准系统 真空规

    DUT数量:2个
    兼容探头:MKS/GP 354, MKS/GP 355, MKS 971B, CC/HC/皮拉尼规
    单次循环时间:< 1 秒
    可调压力范围:5×10⁻⁷ mbar 至 1×10⁻² mbar (最大 1 mbar)
    数字接口:USB-C, 蓝牙(可选), RS 232, RS 485, 网络接口
    旁通泵类型:隔膜泵
    校准气体:N₂ (可选)
    测量原理:旋转转子法(SRG)
    测量时间:3, 5, 10, 20, 30 秒
    测量精度:读数的 1%
    真空接口:KF 25
    配套软件:Win10, ION Check APP
    长期稳定性:< 1%/年
    高真空泵组:Hicube 80 Eco DN 63 CF-F

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