传感器管可烘烤温度:弹性体密封 150 °C;金属密封 450 °C |
安装方式:水平 |
工作温度:电子元件 10 °C 至 40 °C;测量头 10 °C 至 50 °C |
接液材料:1.4404, 1.4034 |
数字接口:USB、蓝牙、RS 232、RS 485 |
模拟接口:USB Type C、蓝牙、15pin |
模拟输出:0 - 10 VDC 可配置 |
法兰类型:KF 25, 8 VCR, 焊接 |
测量原理:旋转转子压力表 |
测量范围:7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar) |
电源要求:18 ~28 VDC |
精度:7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %;0.07 Torr 至 7 x 10-7 Torr & 0.01 mbar 至 1 x 10-6 mbar 读数的 1 % |
远程控制:Win 7/10 |
长期稳定性:< 每年 1 % 的漂移 |
DUT数量:2个 |
兼容探头:MKS/GP 354, MKS/GP 355, MKS 971B, CC/HC/皮拉尼规 |
单次循环时间:< 1 秒 |
可调压力范围:5×10⁻⁷ mbar 至 1×10⁻² mbar (最大 1 mbar) |
数字接口:USB-C, 蓝牙(可选), RS 232, RS 485, 网络接口 |
旁通泵类型:隔膜泵 |
校准气体:N₂ (可选) |
测量原理:旋转转子法(SRG) |
测量时间:3, 5, 10, 20, 30 秒 |
测量精度:读数的 1% |
真空接口:KF 25 |
配套软件:Win10, ION Check APP |
长期稳定性:< 1%/年 |
高真空泵组:Hicube 80 Eco DN 63 CF-F |
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