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ION Check 真空规校准系统
上海伯东代理德国 ph-instruments ION Check 真空规校准系统, 基于 SRG 旋转转子量规技术的长期稳定真空校准系统.ph-instruments ION Check 真空规校准系统适用于校准和比较高真空计. 结构紧凑, 设计包含无油高真空系统 Hicube 80, 气体计量单元, 读取和校准具有模拟输出的真空表的硬件和软件.
ION Check 真空规校准系统技术规格
| 测量原理 | 旋转转子压力表 |
| 可调压力范围 | 5X10-7 mbar 至 1X10-2 mbar (最大 1 mbar)4X10-7 Torr 至 7 x 10-3 Torr (最大 1 Torr) |
| 精度 | 0.1 mbar 至 1 x 10-6 mbar 读数的 1%0.07 Torr 至 7 x 10-7 Torr 读数的 1% |
| 测量时间 SRG | 3, 5, 10, 20, 30 秒 |
| 单次循环时间 | < 1 秒 |
| 长期稳定性 | < 每年 1% 漂移 |
| DUT 数量 | 2个 |
| 接口 | KF 25 |
| 高真空泵组 | Hicube 80 Eco DN 63 CF-F |
| 旁通泵 | 隔膜泵 |
| 数字接口 | USB-C, 蓝牙(可选), RS 232, RS 485, 网络接口 |
| 软件 | Win10, ION Check APP |
| 兼容插头（包括电缆） | MKS/GP 354, MKS /GP 355, MKS 971B |
| 通用插头 | CC/HC/皮拉尼, 带 24 VDC 电源和 0-10 VDC 模拟输出（可根据要求提供电缆） |
| 校准气体（可选） | N2 （可根据要求提供） |
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ION Check 真空规校准系统 真空规选型参数
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| Device Category | 传感器 |
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