中和系统:高效双束中和系统 |
射线源:聚焦X射线源 |
探测器:高灵敏度探测器 |
样品传输:全自动样品传送停放 |
特点:既可常规高通量测试,又可微区高性能测试 |
离子枪:高性能氩离子枪 |
空间分辨率:微米级 |
查看更多