硅片上下料机是光伏电池、半导体晶圆产线的前端自动化设备，实现硅片 / 晶圆在花篮（Cassette）‑工艺设备‑花篮之间自动取片、分片、传输、定位、检测、放片，替代人工，降低碎片、污染，匹配制绒、扩散、PECVD、PVD、刻蚀、清洗等工艺主机，半导体领域又称EFEM 设备前端模块。
两大应用场景
- 光伏硅片
：方形薄片（182/210mm，厚度 100‑160μm），追求高产能，碎片率低；
- 半导体晶圆
：圆形 8/12 英寸晶圆，带 Notch 缺口 / Flat 平边，洁净等级高、微米级定位精度。
讯巴赫TL12系列微型激光传感器应用于花篮上下料过程中硅片或者晶圆的有无定位检测。
schönbuch讯巴赫TL12系列微型激光传感器，内置放大器，结构小巧，性能卓越，便于整合。采用激光光源，配合振幅脉冲算法，响应快，检测精准。具有背景抑制漫反射、镜反射或对射式，能识别整个检测范围内极小的零件。
产品特点：
多种量程可选，背景抑制漫反射300mm，镜反射1m；对射3m；
开关频率高，可达1000Hz；
光斑尺寸：Φ0.3mm以下 ，可识别最小Ø 0.01 mm (金属线)；
公司介绍：
讯巴赫 schönbuch 源于德国巴伐利亚，Since 1975；
整合全球智能传感器及系统部件的生态链信息；
可以根据用户需求，提供适合多种生产环境下的解决方案。
不断新产品的研发与导入；
服务于：锂电、光伏、半导体、精密仪器、生物医药、冶金、汽车、精密机床、纺织、石化、轻工等领域；
Schönbuch Industrial
Email:
sales@schonbuch.cn
Web：
www.schonbuch.cn
编辑：Alex
美工：Lisa
策划：Sophie