还在被 FIB 表面损伤、镓污染困扰? Technoorg Linda 专业技术研讨会现已上线!本次分享由两位行业重磅专家联合主讲,全篇核心聚焦新一代 GentleMill 全方位升级,大幅降低 TEM 超薄样品制备操作门槛,搭配大量半导体、氮化镓、蓝宝石界面实测电镜图,同时梳理离子减薄技术沿革与全系列离子束加工设备选型方案,材料、半导体、透射电镜实验室从业者必看干货。
2026
会议详情
会议时间
2026 年 08 月 20 日(周四)
14:00-16:00
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重磅主讲嘉宾介绍
TECHNOORG LINDA
András Szigethy
Technoorg Linda CEO
纳米行业资深管理者,布达佩斯经济技术大学工程管理硕士,深耕设备研发、生产与商业化落地;同时担任匈牙利创新协会会员、商业道德大使。本次分享从产业端真实实验室痛点出发,解读新一代 GentleMill 全套优化设计思路与市场应用价值。
György Zoltán Radnóczi
HUN-REN 匈牙利能源研究中心高级研究员
匈牙利显微学会主席
工程物理博士,拥有二十余年 TEM 特种样品制备研究经验,与 Technoorg Linda 深度合作十余年,主导低能氩离子减薄工艺、配套设备方案开发。视频内全部对比电镜图像、实测实验数据均来自其实验室,分享内容具备极强实操参考价值。
本次分享核心亮点:
新一代 GentleMill 全面革新,制样门槛大幅降低
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TECHNOORG LINDA
传统 FIB 后处理制样长期存在操作门槛高、新手极易报废样品、超薄薄片污染难根除等痛点,全新一代 GentleMill 作为专用低能离子精修设备,针对性完成多项颠覆性优化,让零基础学生、实验新人也能稳定产出无伪影高质量 TEM 样品:
1.专利样品转运系统
彻底告别碎样、丢样、反复对位
卡匣确保FIB/SEM取出网格的安全和便捷操作
在准备和转移过程中保护脆弱的层片
直接兼容任何FIB/SEM系统
配备专用网格对准工具,实现精准、用户友好的定位
适合所有用户水平的安全直观操作
2.专属载网调节工具
在设定的铣削形貌内实现载网精准定位
优化离子束入射角度,实现均匀低能量清洗
降低操作人为影响,减少对位偏差
保障可重复、高质量的透射电镜(TEM)表征结果
3. 多档位分层温控体系,全类型材料适配无压力
Passive cooling|被动冷却
通过壳体实现被动散热,无需额外配件,无需人工操作
2. Peltier cooling|帕尔贴制冷(热电制冷)
结构紧凑、操作简便的主动制冷方案,可将样品维持在室温
3. LN₂ cooling|液氮冷却
样品台温度可调,配备液氮自动供给系统,适用于冷冻相关实验
4. 可选 PTU 保护性传输装置
专为对空气、水汽敏感的样品设计的保护性传输装置
支持真空与惰性气体环境
适配样品卡式样品杆,在整个制样流程中实现安全、可控的样品操作
5. 配套软件
全自动运行
基于工艺方案运行,内置预设参数模板
支持多段工艺程序设置
常规操作安全稳定;同时可为资深使用者提供充分参数自定义空间
支持远程操作与状态监控
配套干货:
看懂 GentleMill 为什么是刚需
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(一)低能离子精修技术发展背景
研讨会完整梳理离子加工发展史:
70 年代原子分辨电镜普及,但机械研磨、高能离子加工耗时且损伤严重;高能离子会在样品表层形成 20–50nm 混合损伤层,破坏晶格、引入镓杂质。
历经数十年迭代,1998 年商用低能离子源落地,2001 年初代 GentleMill 问世。
而本次发布的新一代机型,在初代基础上完成全流程操作体验升级,兼顾高精度与易用性。
(二)FIB 制样原生缺陷,GentleMill 一站式解决
聚焦离子束切割薄片会带来四大难以规避的问题:厚非晶损伤层、镓离子注入污染、边缘再沉积、薄片弯曲。
现场展示硅锗半导体、蓝宝石基氮化镓、氧化铝界面多组对比图:
经新一代 GentleMill 精修后,可一次性清除损伤层、镓杂质、表面污染物,样品边缘可薄至 5nm,清晰观测微小位错、晶粒、界面原子排布,实现无损原子级成像。
品牌全系离子铣设备方案补充
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TECHNOORG LINDA
除核心新品 GentleMill 外,分享中同步介绍品牌完整产品线,适配不同实验室需求:
SEMPREP SMART:厘米级大块样品抛光设备,适用于平面,截面SEM大面积加工。
Unimill :高能 + 低能双离子源一体化,可从块体完成全套 TEM 制样,无镓污染,透明观测区域远大于 FIB。
GIB:可内嵌 FIB 腔体,原位完成切割、清洗、观测,适合大批量工业样品自动化制备。
品牌全系离子铣设备方案补充
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TECHNOORG LINDA
想要现场实操新一代 GentleMill 及氩离子加工设备,可前往国际顶级显微会议:
第 21 届国际显微大会 IMC21|英国利物浦,2026.08.31–09.04
Technoorg Linda 产品推荐
SEMPrep SMART 离子研磨仪
Gentle Mill 台式离子精修仪
Unimill 台式离子减薄仪
GIB 精修离子枪
复纳科技成立于 2012 年,专注引进欧美先进、稳定的科学分析仪器与制造设备,助力中国科研创新与工业升级。公司已服务 2,500+ 家中国用户,并与 10 余家国际知名制造商建立了长期稳定的合作关系,共同为中国用户提供高品质产品与专业服务。目前主要提供产品如下:荷兰 Phenom 台式扫描电镜、匈牙利 Technoorg Linda 离子研磨仪、比利时 NEOSCAN 高分辨台式显微 CT、Nenovision AFM-SEM 联用,ICSPI 原子力显微镜;荷兰 DENSsolutions 原位透射样品杆、匈牙利 Technoorg Linda TEM 氩离子精修仪;荷兰 Phenom ParticleX 清洁度检测系统;Forge Nano 粉末原子层沉积系统、荷兰 VSParticle 纳米气溶胶沉积系统、Tera Print 无掩膜光刻打印系统以及相关产品的付费测试服务。目前在上海(总部)、北京、广州、成都、苏州均有 DEMO 体验中心,售后服务遍布全国。
复纳科学仪器(上海)有限公司
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