第十六届中国国际 纳米技术产业博览会
2026年10月21-23日 苏州国际博览中心
中国国际纳米技术产业博览会（简称“纳博会”）自2010年举办首届以来，已连续在苏州工业园区成功举办15届，累计邀请169名国内外院士（其中诺奖得主3人）、177616位参展参会嘉宾、8250多家参展企业，论坛报告达3578场。CHInano 2026将于2026年10月21-23日再度启航，为全球产业界搭建洞察趋势、汇聚资源、驱动合作的核心平台。
展商推荐
展位号：671
山东产研微纳与智能制造研究院有限公司
公司介绍
山东产业技术研究院成立于2019年7月30日，是山东省一家市场化运营的新型研发机构，一直致力于推进创新体制机制改革、激发科技创新活力、建设高水平人才队伍、统筹财政金融支持、构建产业创新生态，推动区域创新发展。微纳制造公共技术服务平台是济南市具备完整微纳芯片加工、封装和测试分析能力的研发和中试创新平台，于2023年4月正式通线运营，总建设面积5500平方米，洁净间面积约1800平方米，拥有94台/套仪器设备和1套工艺设计仿真软件，建设光刻区、刻蚀区和测试区等9大功能区，为高校、科研机构与企业提供单项或成套工艺的设计、联合/委托开发、中试验证、批量量产和成果转化等全方位资源赋能服务，全力建设北方地区半导体产业培育创新基地，为山东乃至全国MEMS产业提供关键制造能力支撑。
微纳制造公共技术服务平台总建设面积5500平方米，洁净间面积约1800平方米，拥有94台/套仪器设备和1套工艺设计仿真软件，建设光刻区、刻蚀区和测试区等9大功能区，为高校、科研机构与企业提供单项或成套工艺的设计、联合/委托开发、中试验证、批量量产和成果转化等全方位资源赋能服务。
产品介绍
工艺包
成功交付气体传感器芯片、光源芯片、压力传感器等多品类产品，完成深硅刻蚀、键合、镀膜、氢氟酸释放等多项单步工艺代工，得到客户广泛认可，市场影响力逐步扩大，积极对接国内外企业、高校、科研院所、行业协会等创新资源，深化科技合作交流，构建创新体系，促成各类产学研7项，投入项目46个，累积投入晶圆582片，产出率提升至 95%。工艺能力不断增强，新增 13 个工艺包，包括完整产品流程1个、短流程工艺包1个、单步工艺包11个。
往届回顾
第十五届中国国际纳米技术产业博览会举办1场主报告、15场分论坛，分享前沿报告605场，同比增长约26%，以及1场创新创业大赛、3场供需对接会，汇聚了150余位国家级人才，500余位国内外高校院所、企业机构的顶级专家。展区面积25000㎡，吸引全球350余家顶尖企业与机构参展，展示全球纳米技术领域最新技术产品和创新应用2400多件。本届大会累计到场参与总人次近2.75万人次，大会规模创下历史之最，影响力攀升至新高度。
目前，纳博会已成为全球规模最大的纳米技术应用产业领域国际性展会，与日本、韩国、德国、俄罗斯等建立了常态化交流机制。每年，超300家纳米技术产业头部企业选择纳博会，这里不仅是前沿技术的展示窗口，更是企业实现资源聚合、产业协同、未来布局的战略高地。
第16届纳博会
2026年10月21-23日
苏州国际博览中心
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