中巨芯拟投资8亿元建设电子级硫酸生产线
中巨芯于近日发布晚间公告，拟通过向不超过35名特定对象发行股票的方式，募集资金总额不超过8亿元，主要用于建设年产6万吨电子级硫酸项目、集成电路关键电子材料华北生产基地，以及补充公司日常运营所需流动资金。
其中，年产6万吨电子级硫酸项目由中巨芯全资子公司——中巨芯（衢州）科技有限公司负责实施，项目选址位于浙江省衢州市。该项目总投资额为2.121155亿元，计划使用募集资金约2亿元，建成后将新增6万吨/年电子级硫酸产能，产品可满足12英寸晶圆在28纳米及以下先进制程中的工艺需求。
集成电路关键电子材料华北生产基地则计划由中巨芯通过后续增资方式控股的子公司进行建设，选址为河北省沧州市。项目总投资达4.166405亿元，拟使用募集资金约3.6亿元，将建设年产6万吨电子级硫酸、1.5万吨电子级硝酸及1.25万吨电子级氨水的生产线。
电子级硫酸作为半导体制造中光刻、刻蚀与清洗等关键工艺的高纯度材料，对集成电路产业的发展至关重要。中巨芯依托自主开发的多级深度提纯与超净过滤核心技术，具备生产满足12英寸28纳米以下先进工艺的超高纯电子级硫酸能力。此次项目建设不仅响应了国家“十五五”规划中关于加强战略科技攻关的总体部署，也将大幅提升企业在高端电子化学品领域的产能与市场供应能力，有助于更好地支撑下游半导体产业对关键材料日益增长的需求。