珠海首条6英寸MEMS芯片生产线正式通线

珠海首条6英寸MEMS芯片生产线正式通线

珠海特区报于1月15日报道，云际芯光（珠海）微电子有限公司在珠海金湾区三灶镇定家湾片区举办了MEMS芯片生产线的通线仪式。这标志着珠海市首条MEMS芯片产线正式启动运营。该项目总投资超过2.5亿元，仅用一年时间即完成了从建设到通线的全链条闭环，刷新了行业纪录，成为建设周期最短、通线速度最快的产线之一，填补了珠海在MEMS芯片制造环节的空白。

作为一家集研发、中试与量产于一体的综合性平台，该6英寸MEMS芯片产线配备了百级/千级洁净车间以及覆盖全流程的关键设备，具备光刻、薄膜沉积、刻蚀、键合等完整的制造工艺能力，可实现SMR滤波器、石英晶振等核心产品的规模化生产。

云际芯光成立于2023年11月，是一家专注于压电MEMS芯片研发、设计与制造的高科技企业。公司已构建以SMR滤波芯片、PMEMS声学传感器、高基频石英晶振、高精度压力传感器为主的核心产品矩阵，旨在打破国外在高端频率器件和传感器领域的长期垄断。截至目前，企业已申报30余项专利，建立起涵盖设计、工艺、封装测试的全流程研发体系。

公司相关负责人指出，选择在金湾落户，受益于珠海市及金湾区在集成电路产业上的战略布局与政策扶持。金湾区作为粤港澳大湾区的重要节点城市，近年来不断加强半导体产业链的建设，但MEMS制造环节一直存在缺口。云际芯光的投产不仅提升了自身产能，也为本地的设计、封装和应用企业提供了协同机会，推动珠海构建更具竞争力的特色工艺半导体产业生态。

随着生产线的正式运行，云际芯光已与多家行业头部企业达成战略合作。其产品将广泛应用于5G/6G通信、卫星导航、汽车电子和工业传感等关键领域。

展望未来，云际芯光将持续加大在压电MEMS技术方面的研发投入，加快高性能国产芯片的市场化进程，为我国半导体产业自主化和高端化发展注入强劲动力。同时，这一项目也将助力珠海建设成为粤港澳大湾区重要的半导体产业基地。