INVITATION

随着全球绿色发展的不断推进,我国提出了“2030年碳达峰、2060年碳中和”的发展目标,绿色工厂成为推动工业转型和提高质量的重要路径。绿色工厂强调资源节约、环境友好和能效提升,而洁净室技术在这一过程中扮演着至关重要的角色。
在此背景下,复纳科学仪器(上海)有限公司将携其领先的洁净室解决方案亮相2025年12月11日至13日在上海新国际博览中心举办的“亚洲绿色工厂大会与上海洁净技术与设备展览会”:
Fastmicro PFS 环境落尘颗粒实时监控仪:实时监控洁净环境中的颗粒物,确保生产环境符合严格标准。
Fastmicro SAS 仪器表面颗粒物分析仪:对设备表面的微小颗粒进行精准分析,避免污染源影响产品质量。
Coredux 半导体专用软管:提供高纯度、高性能的软管解决方案,广泛应用于半导体行业。
Texwipe 无尘布:采用先进无尘技术,确保洁净室清洁作业中的最高标准。
此次大会不仅是全球洁净技术领域的一次盛会,更是为各行业专家提供一个交流、合作与技术共享的平台。复纳科学仪器(上海)有限公司诚邀您参会,携手共探绿色、环保、智能化的洁净室技术解决方案,助力绿色工厂的可持续发展。
复纳科技展位:E2 馆 G61 展位
时间
2025 年 12 月 11 日 - 13 日
地点
上海新国际博览中心
01
Fastmicro
亚微米级颗粒计数标准解决方案

01
环境落尘颗粒实时监控仪 PFS

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符合 ISO 14644-17 标准
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可检测低至 0.5 um 颗粒
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10 秒完成 2 英寸面积检测
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适用于真空与常压环境
02
仪器表面颗粒物分析仪 SAS

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符合 ISO 14644-9 标准
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可检测低至 0.5 um 颗粒
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90% 采集效率 | >90% 重复性
✦
10 秒完成检测
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ASML 都在用!
03
晶圆表面颗粒物快速检测系统 PDS

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每小时可检测 400 片晶圆
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最小检测颗粒尺寸 100 nm
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支持 4/6/8/12 英寸晶圆
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重复定位精度 15 um
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同时检测正反两面,无需翻面
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02
Coredux
半导体专用软管
在半导体前道生产设备中,需要运输浓酸、浓碱等腐蚀性或高温气体和液体,这对软管的综合要求非常高,如需要在数百摄氏度或零下数百摄氏度条件下运输数百大气压的特种气体,不能产生泄露,且因为在无尘间使用,不能产生纳米级以上的颗粒。市场上很多软管产品可以满足单一条件,但对于需要同时满足腐蚀环境、高温、高压、耐久度等条件的软管产品,需要公司对材料性能的选择和设计有深入的理解,焊接加工等精度要求非常高。
Coredux 产品优势

循环寿命:最高 50,000次
耐压性:最高 4500bar
标准:满足 ISO10380,ENISO 9001.EN 14585,ASME 31.3 清洁度标准
验证:可进行密封性验证和清洁度验证,部分产品最高可接受10-12 std cm3/s氦气泄露检测
服务:从图纸设计-原型 3D 打印-方案验证-产品加工-性能验证-出厂前检验,全流程可控;接受定制,响应快速
软管兼容所有接头品牌和型号
金属软管

PTFE 塑料软管

橡胶软管
每个系列的软管,均有不同的尺寸规格(如内径、外径、最小弯曲半径等),可以耐受不同的压力和温度范围。您可以联系我们详细咨询(咨询热线:400 857 8882)
03
Texwipe
无尘布
Texwipe 是洁净生产清洁用品的领导者,发明了全球第一块无尘布,且多个产品相关检测出货标准被 ASTM 标准采用。Texwipe 产品被广泛应用在半导体、医药等领域,其在半导体生产领域的使用量占有优势地位。复纳科技将致力于为客户生产和提供高效的洁净清洁解决方案。

Texwipe 产品优势

高洁净性:减少颗粒和纤维释放,适用于洁净室。
强吸水性:快速吸收液体,避免残留。
低颗粒释放:保持洁净环境,符合严格标准。
化学稳定性:耐多种化学物质,适用于多行业。
抗静电:防止静电聚集,保障电子元件清洁。
耐用性强:耐磨损,适合高频次使用。
环保无害:无毒材料,符合环保要求。
如果您想了解更多产品详情、应用案例或付费测试服务,欢迎扫码快速咨询:

咨询热线:400 857 8882

复纳科技成立于 2012 年,专注引进欧美先进、稳定的科学分析仪器与制造设备,助力中国科研创新与工业升级。公司已服务 2,500+ 家中国用户,并与 10 余家国际知名制造商建立了长期稳定的合作关系,共同为中国用户提供高品质产品与专业服务。主要业务线如下:
复纳显微成像:荷兰 Phenom 台式扫描电镜、比利时 NEOSCAN 高分辨台式显微 CT、匈牙利 Technoorg Linda 离子研磨仪
复纳清洁度检测:荷兰 Phenom ParticleX 清洁度检测系统(锂电、汽车、光学模组、钢铁夹杂物);荷兰 Fastmicro 可视化颗粒检测系统
复纳微纳制造:Forge Nano 粉末原子层沉积系统、荷兰 VSParticle 纳米气溶胶沉积系统、丹麦 Atlant 3D 直接原子层打印系统、荷兰 Sparknano 空间原子层沉积系统、Tera print桌面式无掩膜蘸笔光刻/打印系统
透射电镜原位分析:荷兰 DENSsolutions 原位透射样品杆、匈牙利 Technoorg Linda TEM 氩离子精修仪
复纳半导体:荷兰 Coredux 半导体软管
复纳生命科学:匈牙利 Femtonics 双光子显微镜
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复纳科技产品

飞纳台式扫描电镜

SEM 样品制备 - 离子研磨仪

Fastmicro 可视化颗粒检测

台式高分辨显微 CT

DENSsolutions 原位样品杆

TEM 样品制备 - 离子精修仪

ForgeNano ALD 原子层沉积包覆

VSParticle 气溶胶纳米沉积

Coredux 半导体专用软管

Femtonics 双光子显微镜






