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免费领 |《MEMS集成设计技术及应用》电子书
摘要
对MEMS设计的关键技术——系统级设计技术,器件级设计技术,工艺级设计技术以及各层级转换接口技术,进行了详细的分析与论述.然后对基于这些关键技术和泛结构化MEMS集成设计方法的MEMSGarden的特色做了介绍
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