MEMS若干动力学问题研究

标称尺寸外径3mm的微型压力传感器CYG503是专为空气动力学研究试验中，要求安装尺寸小，不扰动流场，动态响应优良动态压力分布测量而设计的。应用于如发动机进气道压力畸变、喘振等的空气动力学性能测定。CYG503的压力敏感元件采用先进的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技术设计与制造。绝压型传感器参考压力腔是芯片背面密封的真空腔，表压型传感器的参考压力腔是通过一根更细的不锈钢毛细管从背面引出与大气沟通。也为了方便用户为取得稳定的压力参考而用细尼龙管将它引至气压稳定处。CYG503A绝压型微型压力传感器为探针形，标准外径为Ф3.5mm，长度为18mm，特制的短柱形CYG503AS将长度缩短为12mm。CYG503G表压型微型压力传感器为探针形、标准外径为Ф3.5mm，长度为18mm，背压引出毛细管长为12mm。可选量程为160、250、400、600、1000、1600、2500 kpa表压力。

MEMS 电容式技术 电容式加速度传感器的关键组件是优质微电子机械系统(MEMS)， 具有良好的长期稳定性和可靠性。这种经过验证的技术能够用于测 量静态(DC)和恒定以及动态(AC)加速度。基于电容工作原理的 加速度传感器的其他优点还包括优异的温度稳定性、良好的响应性 能和可实现的分辨率。中频(MF)加速度传感器提供了宽频响应，范围为 0-7 kHz(±3 dB)， 以及一个非常稳健的设计，耐冲击高达 6,000 g。该系列传感器具有轻量级、可靠的铝制外壳，保护等级为 IP67，以 及带可配置长度和接头的集成电缆。应用 单轴加速度传感器采用扁平化设计，可快速安装，是噪声、振动、 强度(NVH)和测试台架应用或评估驾驶舒适度和车辆动力学的基本要求。