mems加速度传感器工作原理,你了解多少?

2021-03-11
关注
摘要 ​mems传感器通常也被叫做微电子机械系统,它指的是尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置中,作为一个独立的智能系统,其发挥出的作用是极为强大的。那么,今天就为大家详细介绍一下mems加速度传感器工作原理,希望能为大家带来参考帮助!

mems传感器通常也被叫做微电子机械系统,它指的是尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置中,作为一个独立的智能系统,其发挥出的作用是极为强大的。那么,今天就为大家详细介绍一下mems加速度传感器工作原理,希望能为大家带来参考帮助!

mems加速度传感器工作原理

我们以MEMS压阻式加速度传感器为例,来了解一下mems加速度传感器的常见工作原理。

MEMS压阻式加速度传感器的敏感元件主要是由质量块、弹性梁、固定框三大部分组成的。压阻式加速度传感器从实质上来讲,它是一个力传感器,可用测量固定质量块在受到加速度作用时,将产生的力F来测得加速度的。在目前研究尺度内,我们能够认为它的原理仍遵从牛顿第二定律。而当有加速度a作用于传感器时,传感器的惯性质量块便会产生一个惯性力,该惯性力F会作用于传感器的弹性梁上,如此一来,就会产生一个正比于F的应变。而此时弹性梁上的压敏电阻也会随着产生一个变化量△R,并由压敏电阻组成的惠斯通电桥输出一个与△R成正比的电压信号V,该系统的信号检测电路可采用压阻全桥作为该信号的检测电路。

电桥采用恒压源供电,桥压为。设、为正应变电阻,为负应变电阻,在进行电阻布局时,我们要在电阻布局、制造工艺上都要保证亚敏电阻的一致性,所以能够认为亚敏电阻和其变化量都是相等的。

以上就是关于mems加速度传感器工作原理的介绍了,相信大家在看完本文介绍以后,对于mems加速度传感器工作原理也能够有一个更加深入的了解了!伴随着工业4.0的到来,mems加速度传感器的技术也正朝向着越来越智能化的、稳定化的方向发展。未来,mems加速度传感器的应用也会越来越广泛,并深受人们青睐。

您觉得本篇内容如何
评分

相关产品

Ericco 艾瑞科惯性系统 ER-MA-5 MEMS加速度计 线速度传感器

ER-MA-5 高精度 MEMS 加速度计(MS1000 的替代品) 加速度计是一种惯性传感器,可以测量重力引起的线性加速度。MEMS 加速度计具有体积小、重量轻、能耗低的特点,可广泛应用于振动检测、姿态控制、安全报警、消费应用、运动识别和状态记录。加速度计与陀螺仪和磁力计组合,形成 IMU(惯性测量单元)。

ASC ECO系列 MEMS电容式加速度传感器

MEMS 电容式技术 电容式加速度传感器的关键组件是优质微电子机械系统(MEMS),具有 良好的长期稳定性和可靠性。这种经过验证的技术能够用于测量静态(DC 和恒定以及动态(AC)加速度。基于电容工作原理的加速度传感器的其 他优点还包括优异的温度稳定性、良好的响应性能和可实现的分辨率。描述 ASC ECO 系列工业加速度传感器提供了宽频响应,范围为 0-2.4 kHz(±3 dB) 以及一个非常稳健的设计,耐冲击性能高达 10,000 g。该系列传感器具有轻量级、可靠的铝制外壳,保护等级为 IP68,以及带可 配置长度和接头的集成电缆。 应用 加速度传感器采用扁平化设计,可快速安装。

Coventor Coventor-加速度传感器 MEMS解决方案

MEMS加速度计广泛应用于汽车安全气囊展开和消费电子应用,如智能手机。此外,在工业、航空航天和国防应用领域,如石油勘探、桥梁结构健康监测和导航惯性测量单元,对高端MEMS加速度计的需求不断增长。

西安精准测控 PA-LAMIII-A 三轴加计

PA-LASIII-A系列三轴模拟加速度计包含通用型、高精度两个系列。主要用于测量三轴加速度的传感器,三轴中的每一轴加速度传感器均采用MEMS芯片,具有高性能、低价位、高可靠性和高封装坚固性,并具备温度传感器输出、自检测(Self-Test)功能,可实现温补和BIT(Built-In-Test

ASC ASC 4425MF 加速度计

单轴加速度传感器 电容式MEMS技术 测量范围2克至200克 定制装配 直流响应 气体阻尼 差分模式 德国制造

ADI 亚德诺 ADXL295WBRDZ-RL 加速计

亚德诺半导体 (亚德诺半导体)传感器解决方案包括 MEMS 加速度计、MEMS 陀螺仪、MEMS 惯性测量单元(IMUs)、 光学传感器、各向异性磁阻(AMR)传感器、 温度传感器、霍尔效应传感器。

Forsense 原极科技 FSS-IMU6132 通用IMU

FSS-IMU6132 是原极科技倾力打造的 6 自由度MEMS 惯性传感器模块。标配输出三轴陀螺仪与加速度信息和高精度姿态角。

Murata 村田 SCC2230-E02-05 IMU-惯性测量单元

Murata组合式传感器是组合式高性能陀螺仪和加速度计元器件。这些传感器基于Murata成熟的电容性3D-MEMS技术,集成了角速度和加速度传感功能以及灵活的、分开的数字SPI接口。角速度传感器偏置稳定性在 MEMS 陀螺仪中处于领先地位。它对所有机械振动和冲击都有优异的不敏感性。这些元器件具有几种高级自我诊断功能。

TDK 东电化 AXO215 加速计

TDK Corporation Tronics Microsystems AXO®215 MEMS加速度计是平面线性器件,采用28引脚、12mm x 12mm、密封式J形引脚陶瓷外形封装。这些微机电系统 (MEMS) 器件中的传感器可提供高精度、24位数字输出,工作温度范围为-40°至85°C。这些Tronics Microsystems加速度计内置自检功能,并可进行闭环操作,从而实现出色的100ppm非线性度。AXO215 MEMS加速度计可实现出色的3µg偏置稳定性,并与GYPRO®产品系列完全兼容。

Meggitt Sensing Systems - 美捷特 7284 冲击传感器

Endevco®型号7284系列是一系列坚固、轻阻尼、压阻式三轴加速度计,设计用于在三个相互垂直的轴上进行高加速度冲击测量。该系列使用三个传感器,它们安装在单个外壳内的三轴布置中,与Endevco 7280A型轻阻尼单轴加速度计具有相同的占地面积和螺栓模式。加速计拥有坚固的八芯电缆,可反复承受高g冲击环境。,7284型采用独特的微机械压阻式传感器,具有轻气体阻尼,以衰减共振振幅,机械停止,以减少过载条件下的破损。单片传感器采用了最新的MEMS技术,具有坚固性、稳定性和可靠性

评论

您需要登录才可以回复|注册

提交评论

传感器专家网

传感器行业综合服务平台,立志于建设便捷方便的传感器选型器、行业专业媒体

关注

点击进入下一篇

【社群智汇】你了解气象探空应用吗?

提取码
复制提取码
点击跳转至百度网盘