高温硅基MEMS传感器

高温硅基MEMS传感器相关厂家

严选高温硅基MEMS传感器厂家，提供从高温硅基MEMS传感器设计、研发、生产制造深耕产品，打造值得信赖的传感器品牌，解决选品、技术支持问题，实现采购放心、售后无忧。

TMS 特敏传感

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南京特敏传感技术有限公司成立于2013年，是南京沃天科技股份、武汉中航工业联合创办的技术创新型公司，专业从事MEMS压力敏感芯片设计、压力敏感芯片封装、压力传感器研发生产的高新技术企业。特敏致力于为航空、航天、船舶、兵器，以及其他国防军工行业提供高性能传感测量技术产品和专业技术服务。 2013年至今，特敏依托高性能硅基MEMS压力敏感芯片设计及制造技术、MEMS硅基压力传感器封装技术研究、传感器核心技术研究，使MEMS硅基压力传感器性能达到国内高端水平。针对国家高端制造领域及军工领域对国产化高端压力传感器的迫切需求，特敏已具备从芯片、芯体到整机全产业链的综合研发与制造能力。特敏自主研发硅基MEMS压力敏感芯片，硅基压力敏感芯体、硅基压力传感器，实现了航天、航空、兵器以及工业、医疗消费领域批量供货；自主研发高温、高精度压力芯体已广泛应用于飞机液压操纵系统、大气数据系统、飞控系统
山东产研微纳与智能制造研究院

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山东产研微纳与智能制造研究院有限公司山东产研院硅基微纳制造公共技术服务平台（中试线）- 4&6英寸2023年5月，由济南高新技术创业服务中心服务的山东产研院倾力打造的产研院硅基微纳制造公共技术服务平台全线贯通，实现具备完整MEMS生产加工能力，其自主生产的首款产品正式下线并交付。微纳制造平台建设总投资2亿元，山东产研微纳与智能制造研究院主导运营，是济南市首条具备完整MEMS芯片生产加工能力的产线，定位于MEMS传感器产品转化和工程化验证。平台总面积5500平方米，洁净间面积约1800平方米，包括光刻区、刻蚀区、湿法区、高温区、注入区、金属化区、划片区、封装区、测试区等9大功能区，配置光刻、键合、扩散、腐蚀、刻蚀、沉积、注入、封装、测试等相关设备 90余台，可实现MEMS芯片生产全过程。
淄博高新技术产业开发区MEMS研究院

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淄博高新技术产业开发区MEMS研究院由淄博高新区管委会与清华大学机械工程学院于2010年11月共同建设，是微机电制造领域国内第一个校地共建研究院，是全国微纳制造、器件与系统协同创新中心成员单位。致力于新一代信息技术、现代工业和智能制造等领域，已组建由丁衡高院士、尤政院士等12名国际知名专家组成的专家委员会和30 余名国内知名专家组成的项目专家组，掌握体硅、压阻、压电等 MEMS 成套工艺，先后获得 “教育部技术发明一等奖”和“山东省首批新型研发机构”，研发了继电器、压力计、高温高精度薄膜温度传感器和芯片级原子钟等 MEMS 器件；已建成了国内首条具有“国际先进水平”的 6 英寸硅基MEMS中试代工平台研究院设有“精密测试技术及仪器国家重点实验室MEMS分实验室”、“清华大学微米纳米技术研究中心MEMS分中心”和“智能微系统教育部重点实验室MEMS分实验室”等分中心和分实验室，提供MEMS器件小试、中试 MEMS研究院投资建设了国内首条硅基4/6英寸兼容MEMS中试代工平台，超净规模国内一流；配备了国际一流设备的中试代工线，中试生产能力可达月产传感器十万只，产品的测试环境也居国内先进水平。
G.E Techonology 宇宏敏芯

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先进的溅射金属基高精纳米膜芯体生产线公司拥有百级洁净车间，生产的溅射金属基高精纳米膜芯体可广泛用于压力传感器和变送器。溅射金属基高精纳米膜芯体采用MEMS加工工艺，尺寸小，纳米薄膜应变电阻直接制作在金属弹性体上，在增大量程范围的同时，实现了敏感元件和弹性体的原子结合，最大限度的降低了传感器的蠕变、迟滞和老化，提高了产品在高温主要优势性能稳定，体积小，精度高，耐高温，耐低温，抗振动签署合作协议2020年4月，淄博高新区管委会与航天科技四十四所就MEMS溅射薄膜工艺压力传感器研发及产业化项目签约。另一方面，随着高品质溅射薄膜压力传感器技术在国内的推广，将使得国内压力传感器研制生产技术整体实力得到提升，有利于国内传感器技术和市场的成熟。主要产品芯体，溅射薄膜压力传感器，压力变送器，力传感器，扭矩传感器，MEMS压力传感器，陶瓷压力传感器，充油硅压力传感器，信号采集装置应用领域轨道交通压力传感器在轨道车辆（地铁、高铁、轻轨等）的各系统中都有诸多的应用

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传感菜鸟

05-23 04:05

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