产品概述
普赛斯ATE-3146静态测试机是一款专注于Si/SiC MOSFET、IGBT、GaN HEMT等功率芯片及器件的静态参数测试系统。采用PXIe通信架构方案，支持板卡灵活扩展与高精度电学特性分析。系统支持单卡1200V大电压、400A大电流输出，最大可扩展至3500V、2000A。可与探针台(Prober)、分选机(Handler)等外设联机使用，广泛应用于半导体产线KGD、DBC及FT工站的芯片及器件的高效分选测试。
核心特点/优势
- 单工站MOS DC IV参数测试UPH高达9000（7个DC IV测试项）
- 单台主机支持3工站IV+CV或4工站IV并行测试
- 采用PXIe板卡架构，支持灵活扩展，精准控制测试成本
- 单卡支持高达2G局部通信总线带宽，8线TrigBus同步触发
- 支持6U标准板卡兼容3U板卡
- 内置精密测量电路，实现pA级和uΩ级的精准测量
- CV测试中速模式下基本精度高达0.05%
- 支持扩展高压、高流模组，最高可达3500V/2000A
应用领域
- KGD裸芯片测试
- DBC测试
- FT测试
选型指南/使用建议
建议根据测试需求选择不同配置的板卡组合，以实现最佳测试效率与成本控制。系统需配合探针台或分选机使用，适用于半导体产线的高精度、高效率测试场景。测试数据支持保存与导出，格式兼容性强。
ATE-3146 半导体测试设备选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 同步触发总线 | 8线TrigBus | |
| 局部总线带宽 | 2G | |
| 支持测试器件类型 | Si/SiC MOSFET、IGBT、GaN HEMT、二极管、三极管 | |
| 支持测试项目 | IV测试、CV测试、击穿电压、漏电流、导通电阻、电容值、增益等 | |
| 测试电压范围 | 1200V（单卡）/3500V（扩展） | |
| 测试电流范围 | 400A（单卡）/2000A（扩展） | |
| 测试精度（CV测试） | 0.05% | |
| 测试通道数 | 3工站IV+CV或4工站IV | |
| 测试速度（UPH） | 9000（单工站，7个DC IV测试项） | |
| 测量精度（电流） | pA级 | |
| 测量精度（电阻） | uΩ级 | |
| 通信架构 | PXIe |
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