TIANHENG 天恒科仪 光电耦合测量系统 TH02 半导体封测

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2025-06-18 21:00:02
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作为为高性价比光电测试用探针台,除了具有常规探针台的功能以外,还拥有适合多种测试条件的光学光路。不仅可以使用波段从紫外到红外,类型包含激光器,氙灯,LED 等多种形式的光源照射样品,还拥有聚焦照明和均匀照明两种照射方式,光斑尺寸覆盖1微米到5毫米的广阔范围。配套的测试软件包突破性集成了多种光学以及电学测试设备的控制功能,并且可以任意组合进行自定义的参数扫描,极大程度的简化了测试过程。探针台还拥有众多配置选项,包括光致发光光谱(PL),电致发光光谱(EL)等测试模块。

提供两种不同照明光斑类型,标准配置为匀化照明模块,可以将激光转化为均匀的小光斑照射在样品上,并且提供白色LED作为指示灯指示激光照射位置。均匀的光斑也方便计算测试中的光功率密度,光斑尺寸最小8微米。聚焦照明光斑则将激光直接聚焦在样品表面形成微小的高斯光斑,光斑尺寸约1微米,可以定位在指定的位置激发样品

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