天恒科仪（苏州）光电技术有限公司  总部位于中国苏州，主营探针测试平台、探针源测系统、半导体分析综合系统、光电分析综合系统、定制综合测试平台及系统，以更高的精度加速客户获得测量书库的速度。产品涵盖示波器、分析仪等多种测试测量产品。数十年不断精进的研发水平、制造工艺和集成开发能力，丰富的微直流、光电、射频、微波、光波测试经验，在测试、测量和监测领域，已具有独立成熟的软硬件开发、研制能力。核心业务示波器、探针台、逻辑分析仪、信号发生器、频谱分析仪、探头和附件、视频测试、电源等各种视频测试、测量和监测产品。我公司已开发直流、光电、射频、微波、光波、特殊应用定制等全系列常温、高温、高低温、真空环境探针测试平台、半导体器件参数测试系统、光电藕合测试系统、射频、微波器件测试系统、功率器件高压、大电流测试系统等产品。研发设计能力天恒科仪从公司成立之初始终把研发部做为公司核心的一个部门之一，每年将30%的销售利润投入到研发部，同时引进专业的PDM管理系统进行研发部管理。研发团队定期参加行业举办的各项技术交流活动，以此推动研发部研发出创新技术和高品质的产品。每年研发部核心工程师会到欧美或日本进行市场考场和调研，为满足不同客户的需求，与国际知名的厂家建立了长期稳定的战略合作伙伴关系，与之交流探讨的检测核心技术及原材料的采用。天恒科仪研发团队坚持自主研发、创新研发、分工写作、效率优先，研究、推出具有自主知识产权和市场竞争力的多项研究成果和产品系统。发展历程2017年  天恒科仪(苏州)光电技术有限公司在中国苏州成立。2018年  发布探针测试平台、半导体分析综合系统和产品设备2020年  发布光电分析综合系统、微电流、直流和射频探针台和产品设备2021年  发布真空环境探针测试平台、半导体器件参数测试系统2022年  发布光电耦合测试系统、晶圆测试系统2023年  发布功率器件测量系统及产品设备主要产品探针台小型探针台、小型真空高低温探针台、平板探针台、通用探针台、高温探针台、密闭高低温探针台、真空高低温探针台、大功率探针台、射频/微波探针台、镭射分析探针台、负载牵引微波探针台、闭循环低温探针台探针台配件微定位底座、夹具电缆、探针、显微镜、工业相机、屏蔽箱、隔震台测量仪表源表、示波器、信号源、半导体参数分析仪、矢量网络分析仪、光谱分析仪、阻抗分析仪、超快速脉冲IV测试模块、测试软件集成系统晶圆测试系统、光电耦合测量系统、功率器件测量系统解决方案半导体参数测量天恒旗下产品，为客户提供从晶元到系统的专业半导体测试方案，并提供搭配其他测试设备。半导体材料测试平台、半导体工艺测试平台、芯片设计测试平台、芯片验证测试平台半导体材料测试平台包括：针对晶元级半导体材料或半导体器件，搭配半导体参数分析仪，用于测试分离器件、材料的三大特性：1、直流特性，如IV曲线、IT曲线、VT曲线、RT曲线等；2、电容电压特性CV曲线（CVU）；3、脉冲特性测试(PMU)，支持超高速脉冲测试。支持以上特性的多通道同步测试。针对高功率半导体材料或半导体器件，搭配高功率晶体管参数曲线图示仪，或称晶体管曲线追踪仪，支持高压、高流等条件下直流特性IV曲线、电容电压特性CV曲线测试。半导体工艺测试平台包括：针对大规模测试，如晶元上多点测试，复杂系统的自动化测试，搭配自动化半导体参数测试系统，支持各类晶元Wafer和MEMS的自动化、半自动化参数测试。广泛用于晶元的失效分析测试（FA）,质量控制测试（QA），可靠性分析测试（RA）。芯片设计测试平台包括：针对高速串行芯片设计，提供完整的发送端测试解决方案，配备高带宽实时示波器、各种探头、一致性测试夹具、一致性测试软件等，支持的标准覆盖各类常用标准，包括：PCIE/DDR/USB/ETH等等。芯片验证测试平台包括：针对高速串行芯片设计，提供完整的接收端容限测试解决方案，配备高速误码率分析仪，及一致性测试夹具、一致性测试软件等，支持的标准覆盖各类常用标准。光电耦合测量探针台选型指南1.探针台体尺寸：4英寸/6英寸/8英寸/12英寸；决定了载物台放样品的尺寸、载物台的X-Y行程。2.显微观察倍率：体视显微镜：综合放大倍率14X~200X（配合CCD相机+显示器），光学小分辨率约5微米）；金相显微镜：综合放大倍率20X~2000X （配合CCD相机+显示器），光学小分辨率约0.5微米）。3.探针座和夹具：器件是几端口：二极管为2端，三极管为3端；测量何种参数：电压、电流、电阻、电容、单色光、激光、光谱、光强；配套仪表：数字源表、半导体参数分析仪、矢量网络分析仪、频谱仪、信号发生器、示波器、锁相放大器等。4.屏蔽和隔振：防静电、遮光线、实验室环境电磁干扰、楼层振动、操作振动。光电集成方案1.光源种类：光源+单色仪：波长可调节，能量较小。激光光源：单波长、能量较大。2.光电结合方式：将外加光源引入探针台显微镜接口，让外加光从显微镜物镜头出射到样品优点：利用探针台显微镜观察定位 外加光源的光斑，垂直90°出射，移动定位便捷；缺点：外加光 经过显微镜内部后，衰减较大。利用探针座特制夹具，夹持光纤，选取出射角度优点：光衰减小，照射角度灵活定制；缺点：不同波长或类型的光纤，需要定制多种不同光纤夹具。真空低温测量HCP系列真空高低温探针台主要技术指标：标准1.25英寸/2英寸/4英寸高低温样品座；高真空绝热腔体，真空度可到1.0*10^-6 Pa，低温可到-269℃；开循环/闭循环制冷和温度范围可选；低倍体视/高倍金相显微观察可选；可配1~6个微定位波纹臂，测试夹具有直流、开尔文、射频、微波、光纤可选；一体式隔振系统，隔绝实验室楼层振动、操作振动。真空高低温探针台主要技术指标：1.标准1.25英寸/2英寸/4英寸高低温样品座；2.高真空绝热腔体，真空度可到1.0*10^-6 Pa，低温可到-269℃；3.开循环/闭循环制冷和温度范围可选；4.低倍体视/高倍金相显微观察可选；5.可配1~6个微定位波纹臂，测试夹具有直流、开尔文、射频、微波、光纤可选；6.一体式隔振系统，隔绝实验室楼层振动、操作振动。变温环境测量高低温探针台选型指南1. 温度范围：密闭低温+高温：-60℃ ~ +120 ℃/ 200℃/400 ℃真空低温+高温：-196 ℃ /269 ℃ ~ +120 ℃/ 200 ℃/ 400 ℃/500 ℃/900℃/1200℃2. 样品台尺寸：密闭高低温样品台：4英寸/6英寸/8英寸/12英寸真空高低温样品台：1.25英寸/2英寸/4英寸3. 显微观察倍率：体视显微镜：综合放大倍率14X~200X（配合CCD相机+显示器），光学小分辨率约5微米；金相显微镜：综合放大倍率20X~2000X （配合CCD相机+显示器），光学小分辨率约0.5微米。4. 微定位座和夹具：器件是几端口：二极管为2端，三极管为3端，场效应管为4端，特殊多端口器件；测量何种参数：电压、电流、电阻、电容、单色光、激光、光谱、光强等；配套仪表：数字源表、半导体参数分析仪、矢量网络分析仪、频谱仪、信号发生器、示波器、锁相放大器等。低温制冷原理1.开循环--使用制冷剂（液氮/液氮）进行热交换冷却降温，制冷过程会消耗制冷剂。优势是降温快，价格相对闭循环较低。劣势是购买制冷剂需要一定的成本，如需长时间制冷，需要使用大容量的杜瓦容器或铺设液氮/液氦管路进行制冷剂连续供应 ；2.闭循环--使用循环制冷机提供冷源，不需要消耗制冷剂，只需要电能就能完成降温。优势是可以长时间制冷、温控非常稳定，后期使用成本低。劣势是制冷速度相较开循环稍慢，且价格较高。HTM系列密闭高低温探针台主要技术指标：1.标准4英寸/6英寸/8英寸/12英寸高低温样品台；2.开循环/闭循环制冷和温度范围可选，制冷过程中需要供应干燥保护气体，如氮气；3.低倍体视/高倍金相显微观察可选；4.可配1~6个微定位座，测试夹具有直流、开尔文、射频、微波、光纤可选；5.配套屏蔽和隔振系统，屏蔽和隔绝静电、遮光线、实验室环境电磁干扰、楼层振动、操作振动。射频/微波测量1. 台体及样品台尺寸：4英寸/6英寸/8英寸/12英寸。2. 显微观察倍率：体视显微镜：综合放大倍率14X~180X（配合CCD工业相机+显示器），光学小分辨率约5微米；金相显微镜：综合放大倍率20X~500X （配合CCD工业相机+显示器），光学小分辨率约2微米；综合放大倍率20X~2000X （配合CCD工业相机+显示器），光学小分辨率约0.5微米。3. 射频探针座：器件是几端口：2端，3端，4端，特殊多端口器件；测量何种参数：S参数、频谱、介电常数、磁导率等；配套仪表：矢量网络分析仪、频谱仪、信号发生器、示波器、锁相放大器、数字源表、半导体参数分析仪等。4. 射频探针有源射频探针：测试电子管、晶体管、集成电路等信号的放大、转换器件 ；无源射频探针：测试微波射频器件，包括括转换器、渐变器、匹配网络、谐振器、滤波器、混频器和开关等。5. 其他配件：射频电缆、射频转接头、射频校准件、真空气泵、空气压缩机、隔振台、屏蔽箱。高压/大电流测量1. 台体及样品台尺寸：4英寸/6英寸/8英寸/12英寸。2. 显微观察倍率：体视显微镜：综合放大倍率14X~180X（配合CCD工业相机+显示器），光学小分辨率约5微米；金相显微镜：综合放大倍率20X~500X （配合CCD工业相机+显示器），光学小分辨率约2微米；综合放大倍率20X~2000X （配合CCD工业相机+显示器），光学小分辨率约0.5微米。3. 大功率测量范围：10KV/1500A