产品概述
PMST1210是Precise Instrument普赛斯仪表推出的一款高性能半导体测试设备，专为功率半导体器件的静态参数测试设计。该设备基于高精度数字源表（SMU）技术，支持从晶圆到器件的全产业链测试需求，适用于SiC、GaN等第三代半导体材料的测试。系统具备高电压、大电流、高精度测试能力，支持多种半导体器件的参数测量与特性分析。
核心特点/优势
- 支持高达3.5kV电压测试，最大可扩展至12kV
- 支持高达1000A电流测试，最大可扩展至6000A
- 具备uΩ级导通电阻、nA级漏电流测试能力
- 模块化设计，支持测量单元的灵活扩展与升级
- 支持常温与高温测试，温控范围25℃-200℃
- 兼容多种封装形式，支持定制化夹具
- 支持一键自动测试，提升测试效率
- 支持多种半导体器件的I-V、C-V特性曲线测试
应用领域
- 半导体材料与器件的静态参数测试
- 功率器件（如SiC MOS、GaN HEMT、IGBT）的性能评估
- 二极管、三极管、光耦等器件的参数测量
- 晶圆级与封装级器件的测试分析
- 研发、生产、质量控制等环节的测试需求
PMST1210 半导体测试设备选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 最大电压 | 3500V（可扩展至12kV） | |
| 最大电流 | 1000A（可扩展至6000A） | |
| 最小电压分辨率 | 30pV | |
| 最小电流分辨率 | 10pA | |
| 温控精度 | ±2℃ | |
| 温控范围 | 25℃-200℃ | |
| 漏电流测试范围 | 1nA-100mA | |
| 电压上升沿时间 | 典型值5ms | |
| 电压准确度 | ±0.1% | |
| 电容值范围 | 0.01pF-9.9999F | |
| 电容测试精度 | ±0.5% | |
| 电容测试频率范围 | 10Hz-1MHz | |
| 电流上升沿时间 | 典型值15μs | |
| 电流准确度 | ±0.05% | |
| 电流脉宽范围 | 50μs-500μs |
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