产品概述
SPA-6100半导体参数分析仪是武汉普赛斯自主研发的一款高精度、宽测量范围的半导体电学特性测试系统。该设备支持IV（电流-电压）、CV（电容-电压）以及高流高压下的脉冲式IV测试，适用于从材料、晶圆、器件到模块的全链条测试。产品采用模块化设计，用户可根据测试需求灵活选配测量单元，具备高可靠性与测量效率。
核心特点/优势
- 30μV-1200V, 1pA-100A宽量程测试能力
- 全量程下测量精度高达0.03%
- 支持IV与CV测试快速切换，无需重新布线
- 内置标准器件测试程序，操作简便
- 支持远程指令控制，兼容三同轴探针台
- 提供自动实时参数提取、数据绘图与分析功能
- 兼容高低温测试环境，满足多样化测试需求
- 免费提供上位机软件及SCPI指令集
应用领域
- 纳米、柔性等材料特性分析
- 二极管
- MOSFET、BJT、晶体管、IGBT
- 第三代半导体材料/器件
- 有机OFET器件
- LED、OLED、光电器件
- 半导体电阻式传感器
- EEL、VCSEL、PD、APD等激光二极管
- 电阻率系数和霍尔效应测量
- 太阳能电池
- 非易失性存储设备
- 失效分析
国产SPA-6100型 半导体测试设备选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 兼容性 | 支持三同轴接探针台, 兼容高低温测试 | |
| 控制方式 | 手动操作, 自动操作, 远程指令控制 | |
| 支持测试类型 | IV测试, CV测试, 脉冲IV测试 | |
| 测量精度 | 0.03% | |
| 电压范围 | 30μV-1200V | |
| 电容测量频率范围 | 10kHz-1MHz | |
| 电流范围 | 1pA-100A | |
| 软件支持 | 专用半导体参数测试软件, SCPI指令集 |
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