产品概述
PMST-10KV是普赛斯仪表推出的高精度功率半导体器件静态参数测试系统，专为SiC、IGBT等宽禁带半导体器件设计。该系统具备高电压、大电流、高精度测量能力，支持IV、CV、跨导等测试功能，适用于晶圆、芯片、器件及模块的静态参数表征。系统采用模块化设计，具备良好的扩展性与兼容性，可满足从实验室到产线的全场景测试需求。
核心特点/优势
- 支持最高10kV电压扩展，最大6000A电流输出，满足高功率器件测试需求
- 具备nA级漏电流、μΩ级导通电阻测量能力，精度达0.1%
- 采用脉冲式大电流源，响应快、无过冲，有效降低测试误差
- 支持恒压限流、恒流限压模式，保障测试过程安全
- 模块化设计，支持多种测试单元灵活配置，系统可扩展性强
- 内置专用开关矩阵，支持国标全指标一键测试，提升测试效率
- 软件功能丰富，支持曲线绘制、数据导出、SCPI指令集开放
应用领域
- 新能源汽车800V架构下的SiC器件测试
- 光伏储能系统中IGBT/SiC器件的静态参数测试
- 充电桩、UPS等电力电子设备中功率器件的测试
- 半导体晶圆、芯片、模块的静态特性分析
- 电力电子器件研发、生产、质量控制全流程测试
选型指南/使用建议
根据测试对象选择PMST系列中不同配置型号：PMST适用于实验室测试，PMST-MP适用于小批量测试，PMST-AP适用于产线全自动化测试。建议在常温、低温或高温环境下进行测试，可配合探针台、温箱等第三方设备使用。测试时需注意高压、大电流操作安全，确保夹具与测试环境匹配。
PMST-10KV 半导体测试设备选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 大电流上升时间 | <15μs | |
| 大电流脉宽范围 | 50μs~500μs | |
| 导通电阻测试精度 | μΩ级 | |
| 最大电压 | 3500V（可扩展至10kV） | |
| 最大电流 | 6000A（单机1000A，可并联） | |
| 最小漏电流测试 | 10pA | |
| 最小电压量程 | 300mV | |
| 漏电流测试范围 | 1nA~100mA | |
| 电压测试精度 | ±0.1% | |
| 电容测试范围 | 0.01pF~9.9999F | |
| 电容测试频率范围 | 10Hz~1MHz | |
| 电流测试精度 | ±0.1% | |
| 高压测试模式 | 恒压限流、恒流限压 |
产品替代
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