产品概述
SPA-6100半导体参数分析仪是武汉普赛斯自主研发的一款高精度半导体电学特性测试系统，支持IV（电流-电压）和CV（电容-电压）测试，具备宽测量范围、高精度、快速灵活、兼容性强等优势。该设备适用于从材料、晶圆、器件到模块的全链条测试，广泛应用于前沿材料研究、半导体芯片设计及先进工艺开发。
核心特点/优势
- 支持IV、CV一键测试，无需重新布线，操作便捷
- 支持远程指令控制，兼容三同轴接探针台
- 测量范围宽：电压30μV-1200V，电流1pA-100A
- 测量精度高，全量程下可达0.03%
- 支持多频AC电容测量（10kHz-1MHz）
- 内置标准器件测试程序，支持自动实时参数提取与数据绘图分析
- 支持高低温测试，兼容高低温箱与温控模块
- 提供免费上位机软件及SCPI指令集
应用领域
- 纳米、柔性等材料特性分析
- 二极管、MOSFET、BJT、晶体管、IGBT
- 第三代半导体材料/器件
- 有机OFET器件
- LED、OLED、光电器件
- 半导体电阻式传感器
- EEL、VCSEL、PD、APD等激光二极管
- 电阻率系数和霍尔效应测量
- 太阳能电池
- 非易失性存储设备
- 失效分析
选型指南/使用建议
SPA-6100支持模块化升级，用户可根据测试需求灵活选配测量单元。设备支持远程控制，适用于实验室及产线测试环境。建议搭配探针台、高低温箱等设备使用，以满足不同测试场景需求。设备需在220V 50/60Hz电源下运行，工作环境应保持稳定温湿度。
武汉普赛斯SPA-6100 半导体封测选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 工控机配置 | 内置品牌专业工控机 | |
| 显示器尺寸 | 21寸 | |
| 电压范围 | 30μV-1200V | |
| 电容测量频率范围 | 10kHz-1MHz | |
| 电流范围 | 1pA-100A | |
| 设备尺寸 | 580mm长×620mm宽×680mm高 | |
| 输入电源 | 220V 50/60Hz |
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