产品概述
普赛斯PMST-3500V功率器件静态参数测试系统是一款集多种测量和分析功能于一体的半导体测试设备，适用于多种封装类型的功率器件（如MOSFET、BJT、IGBT、SiC、GaN等）的静态参数测试。系统具备高电压、大电流、高精度的测试能力，支持μΩ级导通电阻、nA级漏电流测试，并可测量输入电容、输出电容、反向传输电容等电容特性。系统采用模块化设计，支持多种测试模块的灵活配置与升级，满足不断变化的测试需求。
核心特点/优势
- 支持高达3500V电压输出，最大扩展至10kV
- 支持高达6000A大电流测试（多模块并联）
- 测试精度达0.1%，具备μΩ级导通电阻和nA级漏电流测量能力
- 内置丰富测试模板，支持一键配置与启动测试
- 支持I-V和C-V特性曲线扫描，测试数据可导出
- 模块化结构设计，便于维护与升级
- 支持与探针台、高低温箱等设备联用，实现晶圆级和高低温测试
- 支持定制化开发，满足不同测试场景需求
应用领域
- 功率器件静态参数测试
- 半导体器件电容特性分析
- 晶圆级芯片测试
- 高低温环境下的性能测试
选型指南/使用建议
建议根据测试器件类型和测试需求选择合适的测试模块配置。系统支持与探针台、高低温箱等设备联用，以满足晶圆级测试和高低温测试需求。测试环境应保持稳定，避免电磁干扰。测试数据可导出并生成特性曲线，便于分析与存档。
武汉普赛斯PMST-3500V 半导体测试设备选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 导通电阻测量精度 | μΩ级 | |
| 最大电压输出 | 3500V | |
| 最大脉冲电流输出（集电极-发射极） | 6000A | |
| 栅极-发射极最大脉冲电流输出 | 30V@10A | |
| 模块化设计 | 支持模块自由配置与升级 | |
| 测试对象 | MOSFET、BJT、IGBT、SiC、GaN等功率器件 | |
| 测试曲线类型 | I-V特性曲线、C-V特性曲线 | |
| 测试模板 | 内置丰富测试模板 | |
| 测试精度 | 0.1% | |
| 温度测试扩展 | 支持高低温测试 | |
| 漏电流测量能力 | nA级 | |
| 电容测试类型 | 输入电容、输出电容、反向传输电容 | |
| 电容测试频率上限 | 1MHz |
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