产品概述
SPA-6100 半导体电学参数测试设备IV+CV曲线扫描仪是武汉普赛斯自主研发的一款高精度、宽量程、快速灵活的半导体电学特性测试系统。该设备支持DC电流-电压（I-V）、电容-电压（C-V）以及高流高压下的脉冲式I-V特性测试，适用于前沿材料研究、半导体芯片器件设计及先进工艺开发。
核心特点/优势
- 30μV-1200V电压范围，1pA-100A电流范围，全量程测量精度达0.03%
- 支持I-V、C-V及脉冲I-V测试模式，无需重新布线即可快速切换
- 内置标准器件测试程序，支持自动实时参数提取、数据绘图与分析
- 提供灵活的夹具定制方案，兼容性强
- 支持10kHz-1MHz范围内的多频AC电容测量
- 免费提供上位机软件及SCPI指令集，支持手动与自动操作
- 模块化设计，支持测量单元灵活升级
应用领域
- 纳米、柔性材料特性分析
- 二极管、MOSFET、BJT、晶体管、IGBT等器件测试
- 第三代半导体材料/器件
- 有机OFET器件
- LED、OLED、光电器件
- 半导体电阻式传感器
- EEL、VCSEL、PD、APD等激光二极管
- 电阻率系数和霍尔效应测量
- 太阳能电池
- 非易失性存储设备
- 失效分析
选型指南/使用建议
SPA-6100支持模块化升级，用户可根据测试需求灵活选配测量单元。设备兼容高低温测试环境，建议搭配高低温箱或温控模块使用，以满足不同温度条件下的测试需求。操作时建议使用普赛斯专用测试软件，实现从设置、执行到数据分析的全流程自动化。
武汉SPA-6100 半导体测试设备选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 兼容性 | 支持高低温测试, 探针台自动操作 | |
| 支持测试模式 | I-V, C-V, 脉冲I-V | |
| 测量精度 | 0.03% | |
| 电压测量范围 | 30μV-1200V | |
| 电容测量频率范围 | 10kHz-1MHz | |
| 电流测量范围 | 1pA-100A | |
| 软件支持 | 上位机软件, SCPI指令集 |
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