产品概述
SPA-6100型半导体参数测试系统CV+IV曲线扫描仪是武汉普赛斯自主研发的一款高精度、宽量程、快速灵活的半导体电学特性测试系统。该设备支持DC电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)以及高流高压下脉冲式I-V特性的测试，适用于前沿材料研究、半导体芯片器件设计及先进工艺开发，具有卓越的测量效率与可靠性。
核心特点/优势
- 30μV-1200V电压范围，1pA-100A电流范围，支持宽量程测试
- 全量程下测量精度高达0.03%
- 内置标准器件测试程序，操作简便
- 支持自动实时参数提取、数据绘图与分析
- 可在CV和IV测量之间快速切换，无需重新布线
- 提供灵活的夹具定制方案，兼容性强
- 免费提供上位机软件及SCPI指令集
应用领域
- 纳米、柔性等材料特性分析
- 二极管
- MOSFET、BJT、晶体管、IGBT
- 第三代半导体材料/器件
- 有机OFET器件
- LED、OLED、光电器件
- 半导体电阻式传感器
- EEL、VCSEL、PD、APD等激光二极管
- 电阻率系数和霍尔效应测量
- 太阳能电池
- 非易失性存储设备
- 失效分析
SPA-6100型 半导体测试设备选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 兼容性 | 支持多种夹具定制 | |
| 测试模式 | I-V, C-V, 脉冲I-V | |
| 测量精度 | 0.03% | |
| 电压测量范围 | 30μV-1200V | |
| 电流测量范围 | 1pA-100A | |
| 软件支持 | 上位机软件, SCPI指令集 |
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