荷兰 VSParticle 金属氧化物/电化学传感器打印系统 纳米材料

VSP 金属氧化物/电化学传感器打印系统

纳米印刷是柔性电子领域重要的区域性沉积技术， VSP-P1 采用独家的气溶胶冲压沉积技术，将原材料通过火花烧蚀的方式转变成纳米级气溶胶颗粒，并在真空系统配合下实现图案的绘制。该方法避免了传统喷墨打印需要导电油墨以及后续热处理去除油墨的弊端，保证图案的纳米结构最大程度的保留，避免产生气孔等缺陷。

运行原理

气溶胶颗粒会通过火花烧蚀的方式在前端产生，颗粒经由惰性气体带动运输至喷嘴处，经过真空系统作用，腔室的气压会保持在 10mbar 以下，而经由喷嘴喷出的气溶胶会在基底表面冲压沉积。而利用 XYZ 轴控制喷嘴的移动，即可实现图案的绘制。

VSP 干法纳米打印技术优势：

• 能够在纳米尺度上控制材料属性，实现MOx材料的直接、可编程沉积。
• 由于单步干法沉积，允许在晶圆级别上进行精确且具有成本效益的简化生产。
• 支持金属氧化物、二元和三元合金以及混合材料，定制用于目标气体检测。
• 提供与各种基板的兼容性，从而实现多样化的工业应用。

应用领域：气体传感器

金属氧化物 (MOX) 气体传感器通过半导体金属氧化物薄膜的电阻变化来检测气体，但氧化物涂层需要温和的沉积，故而常用的 PVD 与 CVD 手段均不适用。现有方法为利用溶胶凝胶法结合丝网印刷实现区域的沉积。利用气溶胶喷印直写可以实现精准的印刷沉积，避免热处理。

案例研究：用于甲醛检测的多阵列气体传感器

与领先的研究机构合作，VSParticle的技术被用于通过多阵列气体传感器改进甲醛检测。通过沉积由金属氧化物、二元和三元合金制成的纳米多孔层，研究人员显著提高了传感器的灵敏度和选择性。

多阵列配置允许直接比较不同的材料组成，使研究人员能够识别出最佳的甲醛检测材料。这些进步是开发下一代化学电阻传感器的基础，通过纳米材料创新革新气体检测。