真尚有科技 ZM105.2D二维高速投影图像测量仪 传感器

产品概述

真尚有科技 ZM105.2D 二维高速投影图像测量仪是一种基于图像投影原理的高精度、高速度边缘检测设备。该设备通过将图像投影到二维 CMOS 传感器上，利用图像阴影边界位置确定物体边缘，从而实现对工件轮廓的精确测量。ZM105.2D 适用于多种复杂工件的在线、批量测量，尤其在半导体制造、精密机械加工等领域具有广泛应用。

核心特点/优势

• 采用图像投影法，计算效率高，内存占用少，具备成本优势。
• 可同时检测多个方向边缘，适用于特定方向边缘检测需求。
• 具备高精度测量能力，最小测量误差仅为 ±1.5 μm。
• 测量速度高达每秒 130 个工件，适合高速在线检测。
• 适用于较长发射器与接收器距离的应用，如 ZM105.2D-25x30 型号标准间距为 250 mm。
• 可测量二维线性尺寸、直径、角度、螺纹参数、零件形状、跳动值等多种参数。

应用领域

• 喷油器等复杂高精度工件的轮廓检测。
• 半导体制造中的晶圆边缘缺陷检测。
• 光刻工艺中掩膜图案的自动检测。
• 蚀刻过程中的边缘异常检测。
• 适用于需要高速、在线、批量测量的工业场景。

选型指南/使用建议

推荐根据工件尺寸和检测距离选择合适型号，如 ZM105.2D-25x30 适用于标准间距为 250 mm 的应用。设备适用于工业环境，需确保检测区域光线稳定，避免强光干扰。可根据客户需求定制发射器与接收器间距。