产品概述
普赛斯PMST-3500V功率器件静态参数测试系统是一款专为功率半导体器件设计的高精度测试设备,适用于MOSFET、IGBT、SiC、GaN等器件的静态参数测试。系统集成了高电压、大电流、高精度测量单元,支持多种测试项目,如ICES、IGESF、IGESR、BVCES、VGETH、VCESAT、VF等。系统采用模块化设计,支持多种测试夹具和测试环境配置,可与探针台、高低温箱等设备配合使用,满足晶圆级和高低温测试需求。
核心特点/优势
- 支持高达3500V电压测试,最大扩展至10kV
- 支持高达6000A大电流测试,多模块并联扩展
- 测试精度达0.1%,支持μΩ级导通电阻和nA级漏电流测试
- 内置多种测试模板,支持一键配置和一键启动测试
- 支持I-V和C-V特性曲线扫描,测试数据可导出
- 模块化设计,便于维护和升级
- 支持温控功能扩展,满足高低温测试需求
- 支持晶圆级芯片测试,兼容多种封装类型
应用领域
- 半导体测试行业
- 功率器件测试
- MOSFET测试
- IGBT测试
- SiC测试
- GaN测试
- 晶圆级芯片测试
- 高低温测试
选型指南/使用建议
建议根据测试器件类型和封装形式选择合适的测试夹具,系统支持多种测试模块自由配置。测试环境需保持稳定,建议搭配高低温箱或温控模块进行温度相关测试。测试数据可通过上位机软件导出,支持图形界面和表格展示。
PMST-3500V 仪表选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 上升时间 | 15μs | |
| 导通电阻测试精度 | μΩ级 | |
| 支持测试项目 | ICES、IGESF、IGESR、BVCES、VGETH、VCESAT、VF、I-V特性曲线、C-V特性曲线、输入电容、输出电容、反向传输电容 | |
| 最大测试电压 | 3500V | |
| 最大测试电流 | 6000A | |
| 栅极-发射极测试电压 | 30V | |
| 栅极-发射极测试电流 | 10A | |
| 测试精度 | 0.1% | |
| 漏电流测试能力 | pA级 | |
| 电容测试频率 | 1MHz |
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