认证标准:SEMI S2, UL |
防护等级:IP54 |
启动时间:0.3-3.5 min |
重量(g):5.8-8.2 kg |
Maximum Rotational Speed:90,000 rpm |
压缩比:> 1X10¹¹ |
抽速范围:10-260 l/s |
极限压力:< 5X10⁻⁵ ~ < 1X10⁻⁷ hPa |
轴承类型:复合轴承/全磁浮 |
通讯接口:Profibus, DeviceNet, E74 |
防护等级:IP54 |
启动时间:6.5 min |
重量(g):11.5 – 19.1 kg |
Maximum Rotational Speed:90,000 rpm |
压缩比(N₂):> 1×10¹¹ |
抽速范围:300-790 l/s |
接口协议:Profibus, DeviceNet, E74 |
极限压力:< 1×10⁻⁷ hPa |
轴承类型:复合轴承 |
外壳防护等级:IP54 |
重量:27-47 kg |
压缩比:> 1×10⁸ |
启动时间:2-4 min |
安装角度:0°-90° 和 90°-180° |
抽速范围:1200-2300 l/s |
极限压力:< 1×10⁻⁷ hPa |
电压范围:90-265 V |
功耗:170 / 210…280 / 210…280 W |
噪音水平:48 / 47 / 47 dB(A) |
型号:HiScroll 6 / HiScroll 12 / HiScroll 18 |
外形尺寸:380×227×257 / 419×265×304 / 419×265×304 mm |
抽速:6.1 / 12.1 / 18.1 m³/h |
极限真空度(气镇阀关闭):1.5×10⁻² / 6×10⁻³ / 6×10⁻³ hPa |
气镇流量(stage1/2):8,000/20,000 / 11,000/20,000 / 12,000/20,000 sccm |
水蒸气环境下真空度:6/13 / 9/24 / 9/24 hPa |
设备重量:19 / 24 / 23 kg |
转速:42Hz/2,500 min⁻¹ / 26Hz/1,560 min⁻¹ / 26Hz/1,560 min⁻¹ |
进气口规格:DN 25 ISO-KF |
噪音:48 dB(A) |
型号:HiScroll 6 |
抽速:6.1 m3/h |
最大吸入压力:1100 hPa |
极限真空:1.5 X 10-2 hPa |
电源:100–127 / 200–240 V AC (±10%), 50/60 Hz |
转速:1,000-3,000 rpm |
进气口:DN 25 ISO-KF |
重量:19 kg |
防护等级:IP20 |
噪音等级:47 dB(A) |
型号:HiScroll 12 |
抽速:12.1 m3/h |
最大吸入压力:1100 hPa |
最大电流:10A |
极限真空:6 X 10-3 hPa |
气镇第1阶段极限压力:5X10-2 hPa |
气镇第2阶段极限压力:4X10-1 hPa |
电源电压:100–127 / 200–240 V AC (±10%), 50/60 Hz |
设备重量:24 kg |
转速:624 - 1,870 rpm |
进气口规格:DN 25 ISO-KF |
防护等级:IP20 |
防爆认证:Ex II 3/-G Ex h IIC T4 Gc X +5 °C ≤ Ta≤ +40 °C |
额定电流:100V - 127V 8A, 200V - 240V 4A |
噪音水平:47 dB(A) |
抽速:18.1 m3/h |
极限压力:6×10⁻³ hPa |
气镇功能:支持 |
电源电压:100-240 V AC (±10%), 50/60 Hz |
设备重量:23 kg |
转速范围:624-1870 rpm |
进气口规格:DN 25 ISO-KF |
防护等级:IP20 |
防爆认证:可选 (Ex II 3/-G Ex h IIC T4 Gc X) |
抽速:0.25 ~ 3.8 m³/h |
极限真空:1 ~ 7 hPa |
设计特点:干燥无油, 紧凑设计, 低振动低噪音 |
输入电压:24 V DC / 100-115 / 200-230 V AC |
隔膜级数:2级 / 3级 / 4级可选 |
驱动方式:交流电(AC) / 直流电(DC) |
噪音等级:≤ 48 ~ 75 dB(A) |
抽速范围:1.3 ~ 300 m³/h |
极限压力:2×10⁻³ ~ 4×10⁻³ mbar |
电机类型:单相/三相/直流(DC) |
设计类型:磁耦合无轴封(M)/抗腐蚀(C)/直流(DC) |
连接尺寸:DN 16/25/40/63/100 ISO-KF/ISO-F |
冷却方式:风冷 |
分子泵型号:HiPace 30 / HiPace 80 / HiPace 300 / HiPace 300 H |
前级泵型号:MVP 015-2 / MVP 015-4 / MVP 030-3 |
前级泵抽速:0.5 / 0.75 / 1.8 m³/h |
安全认证:UL / CSA |
抽速(氮气):22 / 32 / 35 / 67 / 260 l/s |
极限真空:< 10⁻⁷ / < 10⁻⁸ / < 10⁻¹⁰ hPa |
泵组型号:HiCube 30 Eco / HiCube 80 Eco / HiCube 300 Eco |
进气法兰:DN 40 ISO-KF / DN 63 CF-F / DN 63 ISO-K / DN 100 CF-F / DN 100 ISO-K |
噪音水平:≤48 dB(A) |
安全认证:Semi S2, UL, CSA, IP54, NEMA 12 |
最大电流:5.6 A |
极限真空:1 X 10^-7 / 5 X 10^-10 mbar |
核心技术:Laser Balancing™ 激光平衡技术, 内部实时转子温度测量, Self-detecting 智能配件 |
氢气压缩比:1.4 X 10^5 |
氢气抽速:38/48/48 l/s |
氦气压缩比:1.3 X 10^7 |
氦气抽速:41/58/58 l/s |
氩气压缩比:1 X 10^11 |
氩气抽速:30/66/66 l/s |
氮气压缩比:1 X 10^11 |
氮气抽速:35/67/67 l/s |
设备重量:1.7 / 3.1 kg |
进气口规格:DN 40 ISO-K / DN 63 ISO-K / DN 63 CF-F |
驱动接口:RS-485 带远程 TC 80 |
允许最大磁场:5.5 mT |
声噪:≤50 dB(A) |
抽速(Ar):255 L/S |
抽速(H2):220 L/S |
抽速(He):255 L/S |
抽速(N2):260 L/S |
控制器型号:TC 400 / TC 110 / TCP 350 |
极限压力:＜1X10-7 hPa / ＜5X10-10 hPa |
电压:24 VDC |
转速:60000 RPM |
进气口规格:DN 100 ISO-K / CF-F / ISO-F |
重量:5.8-8.7 kg |
防护等级:IP54 |
允许最大磁场:3.3 mT |
启动时间:1.7 min / 3 min |
声噪水平:≤48 dB(A) |
工作电压:24 VDC |
控制器型号:TC 110 (标配) / TCP 350 (选配) |
整机重量:2.1 kg - 3.8 kg |
最大电流:4.6 A / 5.5 A |
最大预抽真空:2 hPa |
最高抽速:71 L/S |
极限压力:<1×10⁻⁷ hPa / <5×10⁻¹⁰ hPa |
认证标准:SEMI S2, UL/CSA |
进气口规格:DN 63 ISO-KF, DN 63 CF-F, DN 40 ISO-KF |
防护等级:IP54 |
额定转速:90000 RPM |
抽速范围:80 至 800 l/s |
控制面板:7 英寸彩色触摸屏 |
真空度范围:10^-7 |
设备类型:台式设备 |
远程控制:支持以太网连接 |
查看更多
