TC Wafer在PVD/ CVD薄膜沉积工艺中的应用之一,就是腔体均温性校准,通过内置温度传感器阵列的晶圆,实时测量腔体内温度,帮助工程师调整加热器分区功率、气体流量分布等参数,确保沉积薄厚度均匀性
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