主体形状:矩形 |
测量技术:光电线性编码器 |
分辨率:0.01μm (10nm) |
全量程误差（100mm量程）:<0.5μm |
全量程误差（10mm量程）:<0.2μm |
全量程误差（25mm量程）:<0.3μm |
全量程误差（50mm量程）:<0.4μm |
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