重复性:±0.2% 满量程 |
仪表类型:传感元件 / 传感器 |
供电电压:+30 mV |
压损比:0.20 |
合规认证:RoHS; REACH |
存储温度:-20 ~ +70 ℃ |
工作温度:-20...70 C |
工作电流:8~ 24 Vdc |
接触材料:IEC 61000-4-2; 4-8 铝合金; 氮化硅; Ablestik 84-3J; FR4 |
最大压力:-5~ 50 1.0 (150) MPa (psi) |
最大流量变化率:80000(80SLPM) (<20000 models); 500 (< 1000 models); 3000 (< 6000 models) sccm/sec |
最大溢流:3000 (3SLPM) (<1000 models); 18000 (18 SLPM) (< 6000 models) Sccm (SLPM) |
校准条件:Air @ 0°C, 101.325 kPa |
气体体积流量范围:0...20 |
泄漏率:<1X10 He atm cc /sec |
流量控制范围(满量程):50/ .../ 20000 sccm |
温度范围:<150 °C |
湿度:<95, 无冷凝 %RH |
稳定时间:100:1, up to 1000:1 |
精度:±1% Full Scale |
输出信号:50 Linear, analog 0 ~ 5 Vdc/ Rs485 Modbus/ R5232 mA |
供电电压:2.75...5.5 VDC |
供电电流:17...21 mA |
分辨率:12 位 |
响应时间:5...15 ms |
存储温度范围:-40...105 ℃ |
工作温度范围:-5...+85 ℃ |
测量范围:0 到 30...4000 SCCM |
湿度范围:0...95% RH(无结冰或冷凝) |
精度:±5% FS |
精度(数字):5% 读数 + 0.1 m/s |
输出信号:线性,0.5...4.5 VDC |
输出数字范围:409...3686 个计数 |
重量:4 g |
供电电压:Customized |
接触材料:碳化硅、环氧树脂、PPS、FR4、硅胶密封 |
测量范围:Customized |
湿度范围:0...100% RH, 抵抗水汽凝结 |
精度:Customized |
输出信号:Customized |
供电电压:2.7...15 VDC |
气体体积流量范围:30...5000 sccm |
测量类型:质量流量 |
测量范围:0 to 10...5000 SCCM |
精度:±1.5% FS |
输出信号:Linear, 0.5...4.5 VDC, I2C |
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