MEMS仿真软件是专为微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS）设计开发的计算机辅助工程（CAE）工具，用于在虚拟环境中模拟、分析和优化MEMS器件的结构、性能及制造工艺。其核心目标是通过多物理场耦合仿真（如机械、电学、热学、流体等），预测器件在真实工况下的行为，从而降低研发成本、缩短开发周期。
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