产品概述
Setra 730系列真空电容式压力计是一款高精度的电容式膜片真空计（CDG），适用于光伏、半导体和工业市场中对过程控制至关重要的低真空范围测量。该产品读数精度达±0.5%，分辨率高，优于同类产品。730型采用全Inconel®接液材料，可承受半导体加工过程中的腐蚀性介质。由于采用直接测量设计，它能精确测量介质，不受应用中气体混合物成分的影响。
核心特点/优势
- 高精度测量：±0.5%读数，分辨率高
- 采用张紧膜片设计，确保优异的性能
- 宽温度补偿范围，适应复杂环境
- 低回路噪声，响应速度快
- 不易受环境条件变化影响
- 出色的抗过压设计
- 符合CE和RoHS规范
- 全Inconel®接液材料，耐腐蚀性强
- 直接压力测量，不受气体混合物成分影响
应用领域
- 半导体处理室
- 石化
- 等离子体灭菌器
- 真空包装
选型指南/使用建议
订购示例：730G010TA4T2BD9K = 730型，10Torr压力范围，绝压，0.5”外径管接头，0-5VDC输出，9针D-Sub接头，±0.5%读数精度。用户在定货前需注明终用户，并经过美国方面审批后方可订货。此产品受到严格管制，建议客户一次购买时多买一个做备件，审批时间和订货周期较长。
美国西特730系列真空电容式压力计 真空计和仪器选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 分辨率 | ≤0.005%FS | |
| 响应时间 | <20 ms | |
| 工作温度范围 | 0~+80℃ | |
| 接液材料 | Inconel® | |
| 测量精度 | ±0.5% 读数 | |
| 测量范围 | 10 Torr（示例型号） | |
| 温度补偿范围 | 0~+50℃ | |
| 电气连接 | 9针D-Sub接头（示例） | |
| 电流消耗 | <10 mA | |
| 电源电压 | 12-30VDC | |
| 耐压能力 | 45 PSIA | |
| 腔室体积 | <6.0 cc | |
| 认证 | CE, RoHS | |
| 输出信号 | 0-5VDC（示例） | |
| 输出负载 | >10kΩ | |
| 输出阻抗 | <1Ω | |
| 重量 | <250 g | |
| 长期稳定性 | 0.5%FS/1年 |
产品替代
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美国西特730系列真空电容式压力计 真空计和仪器资源附件
| 文件名称 | 大小 | 操作 |
|---|---|---|
| 730新 | 1.11 MB | 下载 |
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