产品概述
iST（Innovative Sensor Technology）MFS02微型流量传感器是一款专为快速流量测量而设计的热式质量流量传感器。该传感器基于薄膜系统技术，具有极低的热质量，从而实现快速响应和低功耗。MFS02适用于气体流量及方向的测量，支持恒流模式（CTA）和桥式模式，分别适用于高流速测量和极低流速测量及泄漏检测。传感器采用光敏玻璃为基底，表面覆有聚合物薄膜，具备高耐化学性，可应对腐蚀性气体和蒸汽环境。
核心特点/优势
- 在恒流模式（CTA）下，具有极高的测量动态范围（10,000,000:1），无需旁路。
- 响应时间小于10 ms，适合快速响应应用。
- 支持全桥模式和恒流模式，适用于不同流速范围。
- 具备流向检测功能，可检测双向气体流动。
- 对腐蚀性气体和蒸汽具有高耐化学性。
- 提供多种灵敏度和电路拓扑选择，支持用户定制。
- 适用于空间受限的系统集成，可安装在PCB上。
应用领域
- 过程控制中的气体流量监测。
- 手持设备中的气体流量测量。
- 医疗设备中的呼吸气体流量检测。
- 工业应用中的烟雾、废气流量测量。
- 泄漏检测及极低流速测量。
选型指南/使用建议
MFS02提供两种PCB封装形式：标准封装（MFS02.PSTD.0）和裸露封装（MFS02.PEXP.0），可根据安装需求选择。传感器支持多种电路拓扑结构，用户可根据具体应用场景选择合适的灵敏度和工作模式。建议在-40°C至+80°C的温度范围内使用，避免高温或腐蚀性环境超出其耐受范围。传感器可通过焊盘连接方式集成到系统中，适用于PCB安装。
MFS02 流量传感器选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 性 能 | ||
| 精度 | < 真实值 2%（取决于电路与校准） | |
| 气体体积流量范围 | 0 至 1.5 m/s，对应 0 至 100 ml/min | |
| 响应灵敏度 | 0.0003 m/s（20 微升/min） | |
| 特 性 | ||
| 介质 | 气体流量 | |
| 响应时间 | < 10 ms | |
| 环 境 | ||
| 工作温度 | -40°C 至 +80°C | |
| 物 理 | ||
| 外形尺寸 | 5.0×3.4×0.5 mm | |
| 安装 | 焊盘 | |
| 更多规格 | ||
| 功率（无流量） | 10 mW 至 50 mW | |
| 最小测量范围 | 0 ml/min 至 1 ml/min | |
| 流向检测 | 双向（量热式） | |
| 温度灵敏度 | < 0.1 % / K（取决于电路设计） | |
| 电压范围（标称值） | 2 V 至 6 V（全桥模式） | |
| 电桥偏移（全桥模式） | 最大 ±50 mV（VCC = 5 V） |
产品替代
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资料下载
MFS02 流量传感器资源附件
| 文件名称 | 大小 | 操作 |
|---|---|---|
| 数据手册 流量传感器 MFS02_CN2.3.1.2022 | 940.27 KB | 下载 |
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