Taitien S-ABBAB-6MJ01-T 专用传感器

产品概述

S-ABBAB-6MJ01 是一款由 Taitien 制造的石英厚度监控晶体（QCM），专为高应力材料沉积过程设计。该传感器采用纯石英基材与 AT 切割工艺，提供 6 MHz 基准频率，输出类型为标准频率信号，可精确监测半导体及高应力金属薄膜的沉积厚度。

核心特点/优势

• 专为高应力材料沉积优化，适用于 SiO、SiO2、MgF2、TiO2 等高应力介质及金属薄膜的精准监控。
• 采用合金电极设计，提升耐用性与信号稳定性。
• 兼容 Inficon™ 系列石英晶体监控仪，无缝对接主流真空镀膜设备。
• 基频工作模式配合平凸外形轮廓，确保高频响应与测量精度。

应用领域

• 半导体介质薄膜沉积监控
• 高应力金属薄膜（SiO、SiO2、MgF2、TiO2 等）蒸发/溅射工艺
• 真空镀膜与厚度监控系统

选型指南/使用建议

推荐使用配套托盘包装（每盘10片）进行存储与运输，注意控制存储环境湿度在 RH 30%~50%。工作温度建议控制在 +25°C ~ +75°C，存储温度范围为 -20°C ~ +85°C，避免极端温差影响谐振频率稳定性。该型号目前处于停产状态，建议客户提前评估库存或咨询替代型号。安装时请确保晶体表面清洁，避免油污或粉尘影响高频谐振特性。