产品概述
SL-900系列超声波液位传感器是专为半导体工业中化学气相沉积（CVD）工艺设计的高精度液位测量系统。该系统通过超声波信号检测液体的存在与否，适用于超纯化学流体的检测和测量。传感器采用316L不锈钢材质，具有电抛光表面处理，适用于高压、高粘度液体环境，如DMAH、钛前驱体和铜前驱体等。
核心特点/优势
- 高精度测量，单点液位精度±2 mm，重复性±1 mm
- 适用于多种化学物质，不受介电常数、粘度、颜色、密度和不透明度影响
- 支持单点或多点液位检测，适用于高压容器（最高250 PSIG）
- 传感器体积小巧，减少液体位移
- 支持多种电源输入（24 VDC、115 VAC/230 VAC）
- 可选配K型热电偶，适用于特定管径
应用领域
- 半导体工业
- 制药工业
- 高压容器
选型指南/使用建议
SL-900系列提供多种电子模块和扩展电缆选项，支持2点、4点或8点液位检测。传感器可选配1/2”或5/8”外径管，以及3/4”或1/2” VCR®连接方式。标准插入长度为6-12英寸，也可定制12-24英寸长度。建议根据具体应用需求选择合适的电子模块、电缆长度和连接方式。
14102 液位传感器选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 性 能 | ||
| 重复性 | ±1 mm | |
| 特 性 | ||
| 工作压力 | 0 ~ 250 psi | |
| 电 气 | ||
| 额定工作电压 | 24 VDC | |
| 物 理 | ||
| 防尘防水 | NEMA 1 | |
| 材料（传感器带） | 316 L stainless steel | |
| 更多规格 | ||
| 精度 | ±2 mm | |
| Applicable Chemicals | DMAH, TAETO, CVD, TDEAT, CUTMUS, TEOS, DCE, TCA | |
| Digital Output Configuration | Relay – 0.5 A, dry contacts, (NO) | |
| 安装 | 3/4” VCR®, 1/2” VCR® standard | |
| 工作温度 | Sensor: -29 ~ 93 ℃; Electronics: -29 ~ 77 ℃ | |
| Optional Supply Voltage | 90 ~ 230 Vac | |
| Range | 6 mm | |
| Sink Current | 50 mA max |
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14102 液位传感器资源附件
| 文件名称 | 大小 | 操作 |
|---|---|---|
| ENG_DS_SL-900_Series_A2 | 695.66 KB | 下载 |
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