同惠 TH510 仪器仪表

产品概述

TH510系列是专用于半导体器件电容-电压（C-V）特性测试的高精度分析仪，具备多参数测量、高速扫描及多通道扩展能力，适用于功率器件、集成电路等半导体元件的研发与质量控制。该设备采用一体化设计，集成LCR测试、高压源与通道切换功能，兼顾测试效率与测量精度。

核心特点/优势

• 双CPU架构，LCR测试速度达0.56ms/次（1800次/秒），支持快速导通测试（Cont）。
• 支持多参数同步测量，包括Ciss、Coss、Crss、Rg等寄生参数。
• 标配2通道，可扩展至6通道，支持双芯片并行测试。
• 测试模式多样，支持点测、列表扫描（最多1001点）及图形扫描（选件）。
• 电压范围宽，VGS为±40V，VDS支持200V/1500V/3000V可选。
• 频率覆盖范围1kHz-2MHz，分辨率达0.01%。
• 测量精度高，电容分辨率达0.00001pF。
• 支持开路/短路/负载校准，具备10档分选（Bin）及PASS/FAIL指示。
• 内置100M存储空间，支持USB外接存储设定文件、图形及记录。

应用领域

• 器件测试：MOSFET、IGBT、二极管等寄生电容及C-V特性分析。
• 材料研究：晶圆、液晶材料的介电常数与弹性常数测量。
• 工艺优化：通过C-V曲线评估半导体掺杂浓度与界面态密度。

选型指南/使用建议

建议根据测试器件的电压等级选择VDS配置（200V/1500V/3000V）。设备支持多通道扩展，适用于批量测试需求。测试前需进行开路/短路/负载校准，确保测量精度。设备支持分档信号输出，适用于自动化测试系统。建议在常温常湿环境下使用，避免高温高湿环境影响测试稳定性。