产品概述
Yanmade 燕麦科技硅光晶圆测试设备采用前瞻性的设计思路,旨在摒弃光子学行业中需要大量人力介入的传统做法。该设备能够集成多种光电测试仪器、测试设备以及测试软件,适应不同用户的个性化需求。其软件框架具备灵活性和多样性,能够使软件与硬件轻松地集成起来,为复杂的生产流程提供大规模生产方面的支持,高度节省人力成本。
核心特点/优势
- 自动晶圆对准
- 自动晶圆映射
- 通过晶圆机器人装载机集成实现自动晶圆装载
- 自动化加载测试参数及测试流程
- 针对成品率及错误记录的测试结果与数据收集
应用领域
- 半导体封测
硅光晶圆测试设备 硅光测试选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| X/Y轴分辨率 | 0.05 μm | |
| X/Y轴速度 | Max 500 mm/s | |
| X/Y轴重复精度 | ≤1 μm | |
| X轴行程 | 300 mm | |
| Y轴行程 | 700 mm | |
| Z轴分辨率 | 0.1 μm | |
| Z轴行程 | 20 mm | |
| Z轴速度 | Max 10 mm/s | |
| 重复定位精度 | ≤2 μm | |
| 六轴探针模块分辨率 | 0.05 μm | |
| 六轴探针模块旋转分辨率 | ≤0.002° | |
| 六轴探针模块旋转行程(θφψ) | ±4° | |
| 六轴探针模块旋转速度 | 2°/s | |
| 六轴探针模块行程(X,Y,Z) | 50 mm | |
| 六轴探针模块速度 | 50 mm/s | |
| 旋转行程 | 360° | |
| 晶圆尺寸 | 205 mm (8 inch) |
产品替代
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