产品概述
CKD EVS2 减压阀是一款30mm宽的小型、轻量、高性能电空减压阀，适用于半导体、精密贴装领域的先导减压阀控制、各种按压控制及微速气缸控制。该产品通过电气信号实现高精度、高速响应的流体压力控制。
核心特点/优势
- 分辨率提升至0.05%F.S.，显著提高控制精度。
- 新增压力种类：-100kPa（负压）、200kPa（中压）、900kPa（高压），满足多样化需求。
- 体积小巧（30×39×57.1 mm），有助于设备小型化。
- 高精度控制：重复性0.3%F.S.，响应时间0.1秒（无负荷）。
- 双色动作指示器，设定压力时显示绿色，设定外或错误时显示红色，便于状态监控。
- 配管和配线作业简便，空气配管采用快插接头，电气配线采用M12接头。
应用领域
- 半导体制造领域中的精密压力控制。
- 精密贴装设备中的先导减压阀控制。
- 微速气缸控制。
- 各种按压控制系统的压力调节。
选型指南/使用建议
根据所需控制的压力范围选择合适的型号（EVS2-100PARECT、EVS2-500PARECT、EVS2-10VPARECT、EVS2-200PARECT、EVS2-900PARECT）。安装时建议使用快插接头和M12接头以简化配管和配线作业。使用过程中注意监控双色指示器状态，确保系统运行正常。
EVS2 减压阀选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 分辨率 | 0.05%F.S. | |
| 响应时间 | 0.1秒（无负荷） | |
| 外形尺寸 | 30×39×57.1 mm（宽×高×长） | |
| 接头类型 | 快插接头（空气配管）, M12接头（电气配线） | |
| 控制范围 | 0.001～0.1 MPa, 0.005～0.5 MPa, -0.0053～-0.0912 MPa, 0.002～0.2 MPa, 0.009～0.9 MPa | |
| 显示方式 | 双色指示器（绿色为设定压力，红色为设定外或错误状态） | |
| 配管口径 | Φ4, Φ6 | |
| 重复性 | 0.3%F.S. |
产品替代
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