产品概述
Libra谐振式微悬臂梁传感芯片是一种基于谐振频率变化与质量变化之间定量关系的高灵敏度质量型传感器。该芯片通过检测微小质量变化，实现对气体成分的高精度检测，具有灵敏度高、体积小、成本低、可集成等优点。通过与不同敏感材料搭配，可制备多种高灵敏度气敏传感器，也可用于热力学/动力学参数的测量。
核心特点/优势
- 高灵敏度：质量检测灵敏度优于1.5 pg/Hz*，搭配自主研发的软件锁相环电路，可实现低至0.5 pg的超高质量分辨率
- 系统结构简单：片上集成电热驱动、压阻检测元件，搭配接口电路即可实现闭环检测，无需外置设备
- 点样便捷：片上敏感区域亲水，其余部分疏水，便于气敏材料精准上载
- 微小尺寸：芯片尺寸低至1.5 mm x 1 mm
应用领域
- 微悬臂梁气敏测试系统
- 界面热力学/动力学参数分析仪
选型指南/使用建议
建议在-40℃至+120℃的温度范围内使用，功耗控制在25 mW以内。芯片尺寸小巧，适合集成于便携式或嵌入式系统中。使用时需注意敏感区域的亲水特性，便于气敏材料的精准加载。
Libra 悬臂梁芯片选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 使用温度范围 | -40℃ ~ +120℃ | |
| 功耗 | ≤25 mW | |
| 基底材料 | 单晶硅 | |
| 尺寸 | 1.5 mm x 1 mm | |
| 谐振频率噪声（25℃，氮气下） | ±0.1 Hz以下 | |
| 谐振频率（25℃） | 95.0±5 kHz | |
| 质量灵敏度 | 1.0 Hz/pg ± 10% |
产品替代
找到 个替代产品
温馨提示
若上述内容存在差异，请以产品手册为准。
如需获取样品、技术支持或完整规格书，请点击联系销售。
声明：本产品内容及配图源自互联网收集或平台用户自行上传，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或证实其内容真实性，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如涉及作品内容、版权等问题，请联系本网处理，侵权内容将在一周内下架整改。
悬臂梁芯片相关品牌
广告
悬臂梁芯片同类产品
加载中···
