英国真尚有 ZM106-ZSY 传感器

产品概述

英国真尚有ZM106-ZSY传感器是一款专为非接触测量和监控各种物体边缘位置而设计的高性能边缘传感器。该传感器基于先进的“阴影”原理，由控制器和测量探头组成，适用于胶带、板、基板等多种物体的边缘检测。其测量范围为7mm，具备±20um的高精度和1um的重复性，适用于半导体制造、光刻、蚀刻、封装和装配等多个关键环节。

核心特点/优势

• ±20um高精度，1um重复性，确保测量结果稳定可靠
• 非接触式测量，避免对被测物体造成损伤
• 控制器支持2组测量探头，实现双位置边缘测量
• 测量探头小巧轻便，安装距离可达30mm，安装简便
• 控制器支持直接数显，无需额外数显设备
• 支持小批量、低成本定制，满足特殊项目需求
• 相较于相机传感器，不受弱光环境影响，具备更强的环境适应性

应用领域

• 晶圆制造：用于检测硅晶圆边缘的划痕、裂纹或污染等缺陷
• 光刻、蚀刻、封装、装配：确保制造过程中的边缘对准和精度
• 物体边缘检测：适用于胶带、板、基板等材料的边缘定位

选型指南/使用建议

建议根据实际测量对象的尺寸和边缘特征选择合适的测量范围和精度。控制器支持2组测量探头，适用于需要多点测量的场景。安装时应确保发射器与接收器之间距离不超过30mm，以保证测量精度。适用于常温、干燥环境，避免在强电磁干扰或高湿环境中使用。