Chaoyang Sensor 朝阳传感 CY-YZ-350 压力传感器芯体

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2025-12-11 21:00:02
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产品概述

朝阳传感 CY-YZ-350 压力传感器是一种基于特种硅MEMS工艺的半导体敏感器件,采用全316L不锈钢固态密闭封装,核心元件为SDB硅压力敏感芯片。该芯片通过离子注入、光刻、氧化扩散、溅射、键合、腐蚀、微机械加工等工艺,在硅膜片上制备了具有压阻效应的惠斯通电桥。通过金属隔离液封在腔体内部,采用金丝引线键合将芯片电极与烧结座引线可靠连接,实现信号互通。

测量时,隔离金属波纹膜片和腔体内封装的液体将测量压力同步传递给压力敏感芯片,使感压膜片产生变形,利用硅材料的压阻效应,使电桥电阻发生变化,在外部电源激励下,实现测量压力与输出信号的线性转换。

应用领域

  • 工业过程控制
  • 压力检测及过程控制
  • 制冷设备和空调系统
  • 液位测量
  • 压力校准仪器
  • 航空航海检测
  • 气体、液体压力测量
  • 液压系统及开关
  • 压力传感器(变送器)

选型指南/使用建议

该传感器支持多种压力量程(0.01-100MPa)和温度范围(-55℃~+265℃),适用于多种工业和环境条件。建议根据实际测量需求选择合适的量程和温度补偿范围。产品支持定制化外形(Φ19、Φ16、Φ13)和电气连接方式(插针、缆线)。使用时需注意激励电源范围(5VDC/1mADC至10VDC/1.5mADC),并确保工作环境符合温度和压力要求。

CY-YZ-350 压力传感器芯体选型参数

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更多规格
产品类型 传感器 (Transducer)
准确度 ±0.1%FS(±0.3%FS:量程≤40kPa或≥40MPa)
压力类型 绝压;表压;差压;密封压
外形及安装 Φ19、Φ16、Φ13
工作压力量程 0.01-100MPa
工作温度 -55℃~+175℃/-55℃~+265℃
测量介质 气体;液体
测量技术 MEMS;半导体压阻
满量程输出 ≥55mV(≥40mV:量程≤40kPa)
满量程静压影响 ±0.2%FS
激励电源 额定5VDC/1mADC;最大10VDC/1.5mADC
热灵敏度漂移 ±0.02%FS/℃(±0.05%FS/℃:量程≤40kPa)
热零点漂移 ±0.02%FS/℃(±0.05%FS/℃:量程≤40kPa)
绝缘电阻 >100 MΩ/100VDC
补偿温度 -55℃~+150℃/-55℃~+225℃
输出对称性 ±0.2%FS
输出阻抗 3kΩ~5kΩ
过载压力 1.5倍~3倍额定量程
迟滞 ±0.05%FS
重复性 ≤0.05%
长期稳定性 ±0.1%FS/年
零点漂移 ±0.05%FS/8h
零点输出 ±1mV
零点静压影响 ±0.2%FS
非线性 ±0.1%FS(±0.3%FS:量程≤40kPa或≥40MPa)

产品替代

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