产品概述
ZSY 真尚有科技 ZNXSensor 光电传感器是一款基于电容原理的高精度线性位置传感器,专为超高真空环境下的纳米级位移测量设计。该传感器通过测量探头与被测目标之间的电容变化,实现对样品位置的非接触式、高分辨率、高稳定性的实时监测,广泛应用于电子显微镜、精密仪器、半导体制造等领域。
核心特点/优势
- 分辨率高达 0.1 纳米,最高可达 7 皮米(RMS),远超行业平均水平
- 线性度低至 0.02%,确保测量结果在整个量程范围内高度一致
- 采用超殷钢、微晶玻璃等材料,热膨胀系数极低,温度稳定性优异
- 支持超高真空(UHV)环境,无出气材料,确保真空系统不受污染
- 频率响应高达 10 kHz,满足快速动态测量需求
- 非接触式测量,避免对样品或样品台造成干扰或损伤
- 结构紧凑,安装方便,适用于空间受限的精密系统
应用领域
- 电子显微镜(TEM/SEM)样品台微调与位置监测
- 半导体制造中的纳米级定位与检测
- 天文望远镜镜片的高精度对准与微调
- 精密科研仪器中的位移反馈与控制
- 真空环境下的超精密运动控制
选型指南/使用建议
在选择 ZNXSensor 电容式线性位置传感器时,建议根据实际测量需求考虑以下因素:
- 测量范围:根据样品台的移动范围选择合适的量程(20 µm 至 10 mm)
- 分辨率:对于亚纳米级测量需求,建议选择高分辨率型号
- 温度稳定性:在长时间测量或温度波动较大的环境中,优先选择超殷钢材料版本
- 真空兼容性:确保传感器材料符合超高真空(UHV)要求,避免出气污染
- 安装方式:传感器需与被测目标保持平行,且目标表面需为导电材料或涂覆导电层
- 环境要求:避免强电磁干扰,建议使用屏蔽电缆并正确接地
ZNXSensor 光电传感器选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| 分辨率 | 优于 0.1 纳米,最高可达 7 皮米 (RMS) | |
| 测量范围 | 20 µm 至 10 mm | |
| 温度稳定性 | 热膨胀系数可达 0.31 ppm/K(使用超殷钢材料) | |
| 真空兼容性 | 支持超高真空(UHV)环境,无出气材料 | |
| 线性度 | 低至 0.02% | |
| 频率响应 | 高达 10 kHz |
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