产品概述
ZSY真尚有科技 ZLDS103 光电传感器是一款基于激光三角测量原理的非接触式光学三角测量位置传感器，专为高精度、高速度的位移测量设计。该传感器适用于晶圆制造、光刻工艺、薄膜沉积与刻蚀等对位移精度要求极高的场景。
其工作原理是通过激光发射器发射一束聚焦激光，照射到被测物体表面后，反射光被位置敏感探测器接收。通过分析反射光斑在探测器上的位置偏移，结合光学几何关系，计算出被测物体的位移量。
核心特点/优势
- 非接触式测量，避免对晶圆表面造成污染或损伤
- 测量精度高，可达微米到亚微米级别，短量程下可达数十纳米
- 测量速度快，采样频率高达数千赫兹甚至上万赫兹，满足实时在线检测需求
- 结构紧凑，易于集成到自动化设备中
- 适用于多种材料表面，包括金属、陶瓷、玻璃等
- 性价比高，是工业应用中广泛采用的非接触式测量方案
应用领域
- 晶圆制造中的表面形貌检测
- 光刻工艺中的对准与聚焦控制
- 薄膜沉积与刻蚀过程中的厚度监控
- 半导体生产线的实时位移监测
- 精密机械与自动化设备中的位置反馈
选型指南/使用建议
建议根据具体测量范围、精度需求和环境条件选择合适的量程配置。使用时应确保被测表面清洁、无强烈反光或透明材质，以避免测量误差。传感器应安装在稳定平台上，避免振动和温度波动影响测量精度。建议在洁净室或受控环境中使用，以确保测量结果的可靠性。
ZLDS103 光学三角测量位置传感器选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 性 能 | ||
| 绝对精度 | 微米到亚微米级别，短量程下可达数十纳米 | |
| 测量范围 | 几毫米到数百毫米 | |
| 分辨率 | 最高可达0.01% F.S.，小量程下可实现纳米级分辨率 | |
| 特 性 | ||
| 测量模式 | 非接触式 | |
| 更多规格 | ||
| Sampling Frequency | 高达数千赫兹甚至上万赫兹 | |
| 工作原理 | 激光三角测量原理 | |
| 环境适应性 | 受表面特性（颜色、光泽度、粗糙度）和倾斜角度影响 | |
| 适用表面类型 | 多种材料表面（对镜面反射或透明材料可能不稳定） |
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