产品概述
深国安SGA-500系列壁挂式磷化氢气体检测仪是专为半导体制造业设计的高精度剧毒气体监测设备,通过国家防爆认证及欧盟CE/ROHS双认证,可直接安装在生产车间的1区、2区危险区域。检测仪采用进口高灵敏度气体传感器,能够精准捕捉磷化氢气体的微量泄漏。在半导体晶圆制造过程中,磷化氢作为重要的掺杂气体,其毒性极强,短期暴露可导致肺水肿、神经系统损伤,长期接触会引发造血系统疾病,兼具剧毒和易燃易爆双重危险特性。
核心特点/优势
- 采用进口高灵敏度气体传感器,精准捕捉微量磷化氢泄漏
- 响应时间≤3-20秒,实时监测数据通过4-20mA和RS485双信号输出
- 85dB声光报警,超过预警值时立即触发并联动应急系统
- 三防设计(防高浓度过载、防误操作、防雷击)确保设备长期稳定运行
- 特殊铝合金防爆外壳,防护等级达IP65,适用于洁净厂房环境
- 32位纳米级处理器和24位超高精度ADC采集芯片,保障数据采集精度
应用领域
- 半导体晶圆制造过程中的掺杂气体泄漏监测
- 半导体洁净厂房内的有毒气体实时监控
- 工业环境中高毒性、易燃易爆气体的安全管理
选型指南/使用建议
推荐配置:适用于1区、2区危险区域的安装环境,建议与厂务监控系统集成使用。使用时应确保设备安装在通风良好、无强电磁干扰的位置。设备需定期校准以确保检测精度,建议在高温、高湿或腐蚀性环境中使用时加强防护措施。包装形式为标准工业设备包装,适合工厂现场快速部署。
SGA-500-PH3 气体检测仪选型参数
| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 更多规格 | ||
| ADC采集芯片 | 24位超高精度 | |
| 响应时间 | ≤3-20秒 | |
| 处理器 | 32位纳米级处理器 | |
| 安装区域 | 1区、2区危险区域 | |
| 报警方式 | 85dB声光报警 | |
| 检测方式 | 壁挂式 | |
| 检测气体 | 磷化氢 | |
| 认证标准 | 国家防爆认证, CE, ROHS | |
| 输出信号 | 4-20mA, RS485 | |
| 防护等级 | IP65 |
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