Singoan 深国安 SGA-500 气体检测仪

产品概述

深国安SGA-500系列固定式特殊气体浓度检测仪（带延长线）是专为半导体、光伏等高科技产业设计的专业监测设备，通过国家防爆认证及欧盟CE/ROHS双认证，可满足特殊工艺环境的安全监测需求。该设备采用进口高精度传感器，能够精准识别NF3、SiH4、PH3等特殊气体的微量泄漏。在芯片制造、太阳能电池生产等洁净车间，这些特殊气体虽然用量小但毒性极强，深国安固定式特殊气体浓度检测仪可定制延长线设计，可将传感器探头灵活布置在设备、气体管路等关键泄漏点，实现针对性监测。

核心特点/优势

• 采用进口高精度传感器，响应时间≤3-20秒，实现快速精准检测
• 支持4-20mA和RS485双信号输出，可无缝接入工厂监控系统
• 具备85dB声光报警功能，超阈值立即触发，保障人员安全
• IP66防护等级，铝合金外壳，可耐受洁净车间定期消毒处理
• 三防设计（防过载、防误操作、防雷击），确保设备长期稳定运行
• 红外遥控功能支持不开盖校准，避免人员进入洁净区干扰生产
• 延长线设计，支持探头灵活布置，满足复杂工艺环境监测需求

应用领域

• 在半导体刻蚀、CVD沉积、离子注入等工艺区域，特殊气体泄漏风险时刻存在
• 适用于芯片制造、太阳能电池生产等洁净车间
• 为高风险工序提供精准的安全保障
• 通过实时监测和及时预警，防范职业中毒风险，保障精密制造工艺的稳定性

选型指南/使用建议

建议根据具体工艺环境选择合适的气体检测种类和探头布置方式。设备支持延长线定制，便于在设备、气体管路等关键泄漏点进行安装。安装环境应满足洁净车间标准，避免高温、高湿及强电磁干扰。设备支持红外遥控校准，建议定期进行校准以确保检测精度。